Page 57 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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IL201/211/220 系列
构造图
2
12
IL201 IL211
1
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IN OUT IN1 OUT1
8
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IL220
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IN1 OUT
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IN2
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构成部件 维护部件
编号 部件名 材质 备注 系列 配置型号 内容
1 本体 铝合金 银色烤漆 IL201 KT-IL201 左侧编号u、i、o、!2、!3、!6、!7、!8、!9的组件
2 先导本体 铝合金 银色烤漆 IL211 KT-IL211 左侧编号u、i、o、!0、!2、!3、!6、!7、!8、!9的组件
3 阀盖 铝合金 银色烤漆 IL220 KT-IL220 左侧编号u、i、!1、!2、!4、!5、!9、@0、@1、@2的组件
4 设定螺钉 不锈钢
5 活塞 黄铜
6 活塞杆 黄铜
7 膜片组件 铝合金/黄铜/NBR 铬酸盐
8 膜片 NBR
9 活塞阀 黄铜/NBR
10 活塞阀 黄铜/NBR
11 阀 黄铜/NBR
12 设定弹簧 钢丝 铬酸锌
13 阀弹簧 不锈钢
14 阀弹簧 不锈钢
15 活塞弹簧 不锈钢
16 “О”形圈 NBR
17 “О”形圈 NBR
18 “О”形圈 NBR
19 “О”形圈 NBR
20 “О”形圈 NBR
21 “О”形圈 NBR
22 “О”形圈 NBR
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