Page 61 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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IT600 系列
动作原理
输入电流增大后，转矩电机部的q转子受到顺时针方向回转的力矩， i补偿弹簧将排气阀的运动立刻反馈给挡板杆，故闭环的稳定性提
将w挡板向左方推压，e喷嘴舌片因此而分开，r喷嘴背压下降。 高。
于是，t先导阀的!0排气阀向左方移动，OUT1的输出压力上升。 零点调整通过改变o调零弹簧的张力进行，范围调整通过改变矢量
该压力经由内部配管进入y受压风箱，力在此处发生变换。该力通 机构的角度进行。
过!1杠杆作用于u矢量机构，在!2杠杆交点处生成的力与输入电流 输入电流端子
所产生的力相平衡，并得到了与输入信号成比例的空气压力。
:转子
转矩电机
动作原理的方块图 板簧
>矢量机构
SUP
范围调整旋钮
调零
弹簧 ) ( 固定节流 防爆空隙 杠杆交点
挡板杆@
IN 转矩 + + 喷嘴 膜片 排气阀 给气阀 OUT 调零弹簧8
电流 电机 - - 挡板 杠杆
调零旋钮
.喷嘴挡板
板簧
补偿 2补偿弹簧
弹簧
手动切换阀 排气阀 =先导阀
固定节流
B受压风箱
矢量 受压 给气阀A 排气阀B
机构 杠杆 风箱 喷嘴背压;
OUT2 SUP
(盲)
OUT1
外形尺寸图
135
27
A
103 110 A向视图
150 E electro-pneumatic
A M
SMC SMC
22.5
65
MPa MPa
70 35
7.5 110 40 7.5
B向视图
195
35 35 35 50 30
2×M8×1.25 深12
35
20
ø74 OUT1 OUT2 SUP 122
55 70 70
65 7.5
G1/2 Rc1/4 2×Rc1/4 4×M8×1.25 深12
电气配管 堵头 空气配管
B
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