Page 112 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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一般气体适用 气控式减压阀                                                          中流量                                                                                          一般气体适用 气控式减压阀 AK14PAT                           系列
                                                                                   膜片阀芯一体结构
            AK14PAT               系列


          ● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构                                                                                               可选项规格
           阀体材质 SUS316
          ●                                                                                                                     进口侧高压规格
           对应进口侧高压 标准规格:最大15.9MPa;HR规格(可选项):最大20.7MPa
          ●                                                                                                                     与标准规格相比,变更点如下。
          ● 流量范围 <400L/min(nor)                                                                                                   可选项记号             型号                          AK14PAT
          ● 内部材质标准规格为赫氏合金                                                                                                            HR       设定压力范围                          0.05~1.0MPa 注)
          ● 设定压力0.7MPa的场合,操作压力为0.43MPa(进口侧15.9MPa时)                                                                                           进口侧压力范围                          真空~20.7MPa
                                                                                                                                注)进口侧压力高的场合,最大设定压力有不能设定的情况。
                                                     型号表示方法                                             RoHS

                                                                  通口序号                                                          接触气体部材质
                                                            q   w    e   r    t
                      AK14 PA T              S    4PL 6 6 0                  0                                                      材质记号               B                   S                  SH
                                                                                                                                     阀体               黄铜                          SUS316
                             设定压力                                                                                                    阀芯                               赫氏合金 ® C-22
                   记号    设定压力范围                                                              可选项                                     膜片                               赫氏合金 ® C-22
                   PA    0.05~1.0MPa                                                         记号        规格                            孔口                       SUS316                      赫氏合金 ® C-22
                                                     配管连接方式                                 无记号        标准                            阀座            PCTFE(可选项: Vespel ® (聚酰亚胺树脂))             PCTFE
                                            材质      (进口侧q、出口侧w)                              HR    进口侧高压对应   注)
          记号    阀体     阀芯       膜片        孔口         记号        配管连接方式                            (最大进口侧压力20.7MPa)
           B    黄铜                                    4          NPT1 / 4                   注)按进口侧压力条件,设定                       外形尺寸图                                                流量特性图
           S         赫氏合金 ®   赫氏合金 ®     316SS        6          NPT3 / 8                     压力范围受到限制。
          SH  SUS316   C-22     C-22  赫氏合金 ® C-22     8          NPT1 / 2                                                       AK14PAT                                                                  进口侧压力:   10MPa           1.5MPa
                                                      4T       1/4卡套接头                                                                                操作通口                                                             0.7MPa
                                                      6T       3/8卡套接头                  阀座材质                                                                                         AK14PAT
                            通口位置                      8T                                                                                                                                                   配管连接口径:1/4英寸;流体温度:21℃
                                                                                                                                                                                         0.8
                            材质记号                               1/2卡套接头                   记号       材质                                                                                     0.8
             记号    通口位置     B   S、SH                                                    无记号    PCTFE(标准)
             2P                  ●                                                       VS    Vespel ®注)                                                  ø69.6                         0.7
             3P  参见下图            ●                                      表通口            注)材质记号SH不能选择。                                                                                     0.6
                                                                           注1)
             4PL (通口位置)     ●    ●           (出口侧额外通口e、进口侧r、出口侧t)
            5PC             ●    ●                  记号           压力表                压力表表示    注)                                                                                          0.5
                                                   无记号           无表通口                                                                                  ø47.6                           (MPa)
                                                                                    记号      内容
         通口位置                                        0           无压力表              无记号      不适用                                                                                          0.4
                                                            (表通口NPT1/4) 注2)         MPA     MPa                                                          阀盖通口                          设定压力
                               t                     C           无压力表              注)选择带压力表的场合                                                                                           0.3
                                                            (NPT1/4堵头组装出货)           加“MPA”记号。                                                                          最大124.5
          w          q  w         q                 V15        −0.1~0.1MPa                                                                                                               0.2
                                                    V3         −0.1~0.2MPa                                                                                ø66.5                          0.1
                                                     L         −0.1~0.4MPa
                    2P           3P                  1         −0.1~0.7MPa                                                                                                                 0
                                                     H         −0.1~1.1MPa                                                                                                                  0      100     200      300     400     500
                 t       t       r                  V2         −0.1~1.4MPa                                                                                                                                流量(L/min(nor),N2)
                                                     2          0~1.5MPa                                                          OUT                      IN                        注)“L/min(nor), N2”表示流过N2气体时在标准状态(0℃, 1atm)下的体积流量。
          w          q  w         q                  4           0~3MPa
                                                     10          0~7MPa                                                                                       17.5
                                                     30         0~21MPa
                 e  4PL        e  5PC                40         0~28MPa                                                                      22.4         2×M5×0.8 深6.4              输入输出特性
                                                   注1)压力表详见压力表指南(P.115)。                                                                                 (10-32UNF也可使用)
         qIN wOUT e出口侧额外通口                         注2)仅通口记号4P及5PC的场合,NPT1/4堵头同包出厂。                                                                                                                      进口侧压力:       15.9MPa
         rIN侧表通口 tOUT侧表通口                                                                                                                    ø63.5                                   AK14PAT                         1.7MPa
                                                                                                                                                                                                                     20.7MPa(HR可选项)
         规格                                                                                                                                                                              1.2

                    型号                                               AK14PAT                                                                                                               1
          设定压力范围                                                    0.05~1.0MPa
          使用流体                                                 不腐蚀接触气体部材质的流体
          进口侧压力范围                                                   真空~15.9MPa                                                                                                           0.8
                    进口侧                                         最大进口侧压力的1.5倍                                                                                                           (MPa)
          耐压试验压力
                    出口侧                                          最大设定压力的1.5倍                                                                                                             0.6
                    进口侧                                         最大进口侧压力的3倍                                                                                                             设定压力
          破坏压力
                    出口侧                                          最大设定压力的3倍                                                                                                               0.4
          最高操作压力(先导压力)                                                1.0MPa
                                                                         (但未冻结)
          环境温度及使用流体温度                                            −40~71℃ 注)                                                                                                              0.2
                                                                             3
          外部泄漏                                                     1×10 −10 Pa · m / s
          配管连接方式                                                  NPT内螺纹、卡套接头
          操作通口                                                        NPT1 / 8                                                                                                             0 0   0.1   0.2   0.3   0.4   0.5   0.6  0.7
          阀盖通口                                                        NPT1 / 8
          压力特性                                          进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.011MPa                                           赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。                                        操作压力(MPa)
          安装方式                                                        底面安装
          内部容积                                                        18.7cm 3                                                  Vespel ® (聚酰亚胺树脂)是Dupont公司的注册商标。
         注)阀座材质是Vespel ® 或PEEK的场合为Max.90℃。
         111
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