Page 113 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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一般气体适用 气控式减压阀 中流量 一般气体适用 气控式减压阀 AK14PAT 系列
膜片阀芯一体结构
AK14PAT 系列
● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构 可选项规格
阀体材质 SUS316
● 进口侧高压规格 推荐品种
对应进口侧高压 标准规格:最大15.9MPa;HR规格(可选项):最大20.7MPa
● 与标准规格相比,变更点如下。
● 流量范围 <400L/min(nor) 可选项记号 型号 AK14PAT
● 内部材质标准规格为赫氏合金 HR 设定压力范围 0.05~1.0MPa 注)
● 设定压力0.7MPa的场合,操作压力为0.43MPa(进口侧15.9MPa时) 进口侧压力范围 真空~20.7MPa
注)进口侧压力高的场合,最大设定压力有不能设定的情况。 减压阀减压阀
型号表示方法 RoHS
通口序号 接触气体部材质
q w e r t
AK14 PA T S 4PL 6 6 0 0 材质记号 B S SH AP
阀体 黄铜 SUS316
设定压力 阀芯 赫氏合金 ® C-22 SL
记号 设定压力范围 可选项 膜片 赫氏合金 ® C-22
PA 0.05~1.0MPa 记号 规格 孔口 SUS316 赫氏合金 ® C-22 AZ
配管连接方式 无记号 标准 阀座 PCTFE(可选项: Vespel ® (聚酰亚胺树脂)) PCTFE
材质 (进口侧q、出口侧w) HR 进口侧高压对应 注) AK
AK
记号 阀体 阀芯 膜片 孔口 记号 配管连接方式 (最大进口侧压力20.7MPa)
B 黄铜 4 NPT1 / 4 注)按进口侧压力条件,设定 外形尺寸图 流量特性图
S 赫氏合金 ® 赫氏合金 ® 316SS 6 NPT3 / 8 压力范围受到限制。 BP
SH SUS316 C-22 C-22 赫氏合金 ® C-22 8 NPT1 / 2 AK14PAT 进口侧压力: 10MPa 1.5MPa
4T 1/4卡套接头 操作通口 0.7MPa
6T 3/8卡套接头 阀座材质 AK14PAT
通口位置 8T 配管连接口径:1/4英寸;流体温度:21℃ 隔膜阀
0.8
材质记号 1/2卡套接头 记号 材质 0.8
记号 通口位置 B S、SH 无记号 PCTFE(标准)
2P ● VS Vespel ®注) ø69.6 0.7
3P 参见下图 ● 表通口 注)材质记号SH不能选择。 0.6
注1)
4PL (通口位置) ● ● (出口侧额外通口e、进口侧r、出口侧t)
5PC ● ● 记号 压力表 压力表表示 注) 0.5
无记号 无表通口 ø47.6 (MPa)
记号 内容
通口位置 0 无压力表 无记号 不适用 0.4
(表通口NPT1/4) 注2) MPA MPa 阀盖通口 设定压力
t C 无压力表 注)选择带压力表的场合 0.3 单向阀
(NPT1/4堵头组装出货) 加“MPA”记号。 最大124.5
w q w q V15 −0.1~0.1MPa 0.2
V3 −0.1~0.2MPa ø66.5 0.1
L −0.1~0.4MPa
2P 3P 1 −0.1~0.7MPa 0
H −0.1~1.1MPa 0 100 200 300 400 500
t t r V2 −0.1~1.4MPa 流量(L/min(nor),N2)
2 0~1.5MPa OUT IN 注)“L/min(nor), N2”表示流过N2气体时在标准状态(0℃, 1atm)下的体积流量。
w q w q 4 0~3MPa 真空发生器
10 0~7MPa 17.5
30 0~21MPa
e 4PL e 5PC 40 0~28MPa 22.4 2×M5×0.8 深6.4 输入输出特性
注1)压力表详见压力表指南(P.115)。 (10-32UNF也可使用)
qIN wOUT e出口侧额外通口 注2)仅通口记号4P及5PC的场合,NPT1/4堵头同包出厂。 进口侧压力: 15.9MPa
rIN侧表通口 tOUT侧表通口 ø63.5 AK14PAT 1.7MPa
20.7MPa(HR可选项)
规格 1.2
流量开关
型号 AK14PAT 1
设定压力范围 0.05~1.0MPa
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
进口侧压力范围 真空~15.9MPa 0.8
进口侧 最大进口侧压力的1.5倍 (MPa)
耐压试验压力
出口侧 最大设定压力的1.5倍 0.6
进口侧 最大进口侧压力的3倍 设定压力
破坏压力 术语解说 技术资料
出口侧 最大设定压力的3倍 0.4
最高操作压力(先导压力) 1.0MPa
(但未冻结)
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注) 0.2
外部泄漏 1×10 −10 Pa · m / s
3
配管连接方式 NPT内螺纹、卡套接头 共同注意事项
操作通口 NPT1 / 8 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7
阀盖通口 NPT1 / 8
压力特性 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.011MPa 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 操作压力(MPa)
安装方式 底面安装
内部容积 18.7cm 3 Vespel ® (聚酰亚胺树脂)是Dupont公司的注册商标。
注)阀座材质是Vespel ® 或PEEK的场合为Max.90℃。
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