Page 114 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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一般气体适用 气控式减压阀                                                          大流量                                                                                            一般气体适用 气控式减压阀  AK12PA                         系列
                                                                                   膜片阀芯一体结构
            AK12PA              系列


          ● 先导空气对工艺气体用2层密封隔离的安全结构                                                                                               可选项规格
           阀体材质 SUS316
          ●                                                                                                                     大流量规格
           对应进口侧高压 标准规格:最大11.7MPa;HR规格(可选项):最大20.7MPa
          ●                                                                                                                     大流量规格仅产品内部变更,不改变外形尺寸。与标准规格相比,变更如下。
          ● 流量范围 标准规格:<800L/min(nor);HF规格(可选项):<1000L/min(nor)                                                                    可选项记号             型号                          AK12PA
          ● 需抗腐蚀的场合,内部材质也可是赫氏合金规格                                                                                                    HF       设定压力范围                          0.05~1.0MPa 注)
          ● 设定压力0.7MPa的场合,操作压力为0.5MPa(进口侧11.7MPa时)                                                                                            压力特性                 进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.029MPa
                                                     型号表示方法                                             RoHS                    进口侧高压规格
                                                                                                                                与标准规格相比,变更点如下。
                                                                                                                                  可选项记号             型号                          AK12PA
                                                                通口序号                                                                          设定压力范围                          0.05~1.0MPa 注)
                                                         q    w    e   r    t                                                        HR       进口侧压力范围                          真空~20.7MPa
                         AK12 PA           S   4PL 8 8 0                   0                                                    注)进口侧压力高的场合,最大设定压力有不能设定的情况。


                               设定压力                                                                                             接触气体部材质
                     记号    设定压力范围                                                          可选项
                     PA    0.05~1.0MPa           配管连接方式(进口侧q、出口侧w)                         记号        规格                             材质记号               B                   S                  SH
                                                                                                     标准
                                        材质       记号        配管连接方式                         无记号     大流量规格   注)                         阀体               黄铜                          SUS316
                                                                                           HF
                                                  4
           记号    阀体       阀芯         膜片           6          NPT1/4                              进口侧高压对应   注)                        阀芯                       SUS316                      赫氏合金 ® C-22
            B    黄铜                                          NPT3/8                        HR  (最大进口侧压力20.7MPa)                      膜片                               赫氏合金 ® C-22
            S            SUS316   赫氏合金 ® C-22     8          NPT1/2                                                                  阀座            PCTFE(可选项: Vespel ® (聚酰亚胺树脂))             PCTFE
           SH  SUS316  赫氏合金 ® C-22                4T       1/4卡套接头                        注)按进口侧压力条件,设定
                                                  6T       3/8卡套接头                          压力范围受到限制。
                           通口位置                   8T       1/2卡套接头                                                              外形尺寸图                                                流量特性图
                           材质记号
            记号    通口位置     B   S、SH                                                   阀座材质                                      AK12PA                                                            进口侧压力:   10MPa        1.5MPa     0.7MPa
            2P                  ●                                 压力表通口               记号       材质                                                     操作通口                           AK12PA                配管连接口径:1 /4英寸;流体温度:21℃
            3P  参见下图            ●           (出口侧额外通口e、进口侧r、出口侧t)         注1)          无记号   PCTFE(标准)                                                                                    0.8
            4PL (通口位置)     ●    ●                 记号           压力表                     VS    Vespel ®注)
            5PC            ●    ●                无记号          无表通口                   注)材质记号SH不能选择。                                                         ø69.6                         0.7
                                                   0          无压力表                                                                                                                       0.6
         通口位置                                             (表通口NPT1/4) 注2)         压力表表示    注)
                                                  C           无压力表                记号      内容                                                                                             0.5
                              t                          (NPT1/4堵头组装出货)                                                                                                                (MPa)
                                                  V15        −0.1~0.1MPa         无记号      不适用                                                          ø47.6                             0.4
          w          q  w         q               V3         −0.1~0.2MPa         MPA      MPa
                                                   L         −0.1~0.4MPa        注)选择带压力表的场合,                                                             阀盖通口                          设定压力  0.3
                                                   1         −0.1~0.7MPa           请记入"MPA"记号。
                    2P           3P               H          −0.1~1.1MPa                                                                                                最大124.5          0.2
                                                  V2         −0.1~1.4MPa
                 t       t       r                 2          0~1.5MPa                                                                                    ø66.5                          0.1
                                                   4          0~3MPa
          w         q   w         q               10          0~7MPa                                                                                                                       0 0     200     400      600     800    1000
                                                  30          0~21MPa                                                                                                                                     流量(L /min(nor),N2)
                                                  40          0~28MPa                                                                                                                注)“L/min(nor), N2”表示流过N2气体时在标准状态(0℃, 1atm)下的体积流量。
                 e  4PL       e  5PC            注1)压力表详见压力表指南(P.115)。                                                            OUT                       IN
                                                    压力表请选择比减压阀的设定压力范围大的范围。
         qIN wOUT e出口侧额外通口                      注2)仅通口记号4PL及5PC的场合,NPT1/4堵头同包出厂。                                                                              17.5                   输入输出特性
         rIN侧表通口 tOUT侧表通口
                                                                                                                                             22.4         2×M5×0.8 深6.4                               进口侧压力:        11.7MPa      1.7MPa
         规格                                                                                                                                              (10-32UNF也可使用)              AK12PA                         20.7MPa(HR可选项)
                    型号                                               AK12PA                                                                  ø63.5                                       1.2
          设定压力范围                                                    0.05~1.0MPa
          使用流体                                                 不腐蚀接触气体部材质的流体                                                                                                               1
          进口侧压力范围                                                   真空~11.7MPa
                    进口侧                                          最大进口侧压力的1.5倍
          耐压试验压力                                                                                                                                                                         0.8
                    出口侧                                           最大设定压力的1.5倍                                                                                                          (MPa)
                    进口侧                                           最大进口侧压力的3倍
          破坏压力                                                                                                                                                                           0.6
                    出口侧                                           最大设定压力的3倍
          最高操作压力(先导压力)                                                1.0MPa                                                                                                           设定压力
                                                                         (但未冻结)
          环境温度及使用流体温度                                            −40~71℃ 注)                                                                                                              0.4
          外部泄漏                                                     1×10 −10 Pa · m /s
                                                                             3
          配管连接方式                                                  NPT内螺纹、卡套接头                                                                                                            0.2
          操作通口                                                        NPT1/8
          阀盖通口                                                        NPT1/8                                                                                                               0
          压力特性                                          进口侧压力下降0.7MPa时,设定压力上升0.024MPa                                                                                                       0   0.1  0.2   0.3  0.4  0.5  0.6  0.7  0.8
          安装方式                                                        底面安装                                                      赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。                                        操作压力(MPa)
          内部容积                                                        21.6cm 3                                                  Vespel ® (聚酰亚胺树脂)是Dupont公司的注册商标。
         注)阀座材质是Vespel ® 或PEEK的场合为Max.90℃。另外,也可变更环境温度及使用流体温度的范围。详情请与本公司确认。
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