Page 119 - 21-工艺气体元件（特气阀）

工艺气体元件/减压阀单独注意事项 工艺气体元件/背压阀单独注意事项

使用前请务必阅读。安全注意事项请参考封底，工艺气体元件的共同注意事项请由 P.166、167 使用前请务必阅读。安全注意事项请参考封底，工艺气体元件的共同注意事项请由 P.166、167
及《使用说明书》确认。 及《使用说明书》确认。
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推荐品种

选定 维护点检 选定 使用注意事项

警告 警告 警告 警告
减压阀减压阀
q请确认规格。 q减压阀有故障的场合，应向本公司或代理店确认。 q请确认规格。 q背压阀不可作为切断阀或安全阀使用。
关于元件的选定，请在确认使用气体、使用压力（进口侧、出口 关于元件的选定，请在确认使用气体、使用压力（进口侧、出口 w关于压力的调整
侧）、使用流量、使用温度范围等的基础上，在本样本记载的规 使用注意事项 侧）、使用流量、使用温度范围等的基础上，在本样本记载的规 1）逆时针方向完全旋转调压手轮，旋松调压弹簧。
AP
格范围内使用。特殊的气体、特别的用途和环境，有不能使用 警告 格范围内使用。关于背压阀、排气管路及返回管路的流量特性， 2）慢慢打开进口侧的供气阀，向背压阀供气。 AP
的情况。对使用气体，请确认产品构成材料是否适合。产品型 请保证足够大，可以在不产生过剩背压的情况下排气。特殊的 3）顺时针旋转调节手轮，使进口压力上升，达到设定值为止。 SL
SL
q减压阀（压力调整器）不可作为切断阀或安全阀使用。
号和使用气体的适合性，应由样本记载的选定指南确认。 气体、特别的用途和环境下，有不能使用的情况。对于使用气体， 4）在打开进口侧的供气阀的状态下，监控进口压力，待进口压
AZ
w请勿在气体不流动的状态下逆时针方向（DECR）旋转调 请确认产品构成材料是否适合。产品型号和使用气体的适合性， AZ
w请确认压力表的允许压力。 力超过设定值时，逆时针旋转手轮，以返回设定值。
压手轮。 由样本记载的选定指南确认。 AK
AK
产品上安装压力表的场合，使用压力请勿超过压力表的最高使 5）完全打开进口侧阀，确认进口压力为设定值。
如果在气体不流动、减压阀出口侧有压力残留的状态下， 请在理解使用气体的特性后，进行系统的设计、元件的选定。
用压力。 e请在气体流动的状态下降低设定压力。 BP
BP
逆时针方向（DECR）旋转调压手轮，会造成产品破损。
w请确认压力表的允许压力。
请在气体流动的状态下降低设定压力。 逆时针方向慢慢旋转调压手轮，降低进口压力至设定值为止。
安装 产品上安装压力表的场合，使用压力请勿超过压力表的最高使
e请勿从减压阀的出口侧加压。若将设定压力以上的高压 r产品上不得放置重物，不得脚踩。
警告 加到出口侧，则会造成产品破损。 用压力。 t请勿将产品用于不同规格的用途。 隔膜阀
q请确认产品的安装方向。 安装
r关于向产品供气 y产品若在使用中发生振动，应立即中止使用。
有HP符号的一方是高压侧（流体进口侧），有LP符号的一方是低
逆时针方向（DECR）完全旋转调压手轮，并旋松调压弹簧。然后， 警告 根据使用条件等，元件或出口侧压力可能会与响声一起发生短
压侧（流体出口侧）。另外，二段式减压阀的场合，一段减压确
慢慢开启进口侧的供气阀，向减压阀供给气体。操作供气阀时， 促的振动现象（发振）。此时，应立即中止使用，并与本公司或
认用的通口上有MP符号。 q请确认产品的安装方向。
不要站在减压阀及压力表的正面。一旦进口侧的供气阀急剧打 代理店商谈。
必须将有HP符号的通口作为高压侧。如果将其它通口作为高压 有IN符号的一方是高压侧（流体进口侧），有OUT符号的一方是
开，减压阀的出口侧就会进入高压气体，有可能发生压力表盖 单向阀
侧配管，则会引起元件破损或漏气等。 低压侧（流体出口侧）。
飞出、元件破损等重大损害。
必须将有IN符号的通口作为高压侧。如果将其它通口作高压侧
w产品安装后，请确认产品的内部泄漏。
t关于压力的调整 配管，会造成元件破损或漏气等。
确认内部泄漏时，请使用氮气等惰性气体，按用途采取合适的
顺时针方向（INCR）旋转调压手轮，则出口压力上升。
试验方法。以下为试验方法的示例。但仅为概要，不适用所有
请在流过要求的流量状态下调整手轮，以进行正确调压。 维护点检
的用途。
y请在气体流动的状态下降低设定压力。 警告 真空发生器
1）逆时针方向（DECR）完全旋转调压手轮，并旋松调压弹簧。
降低设定压力时，请开启下游侧阀，在有流量流过的状态下进行。
然后，慢慢开启进口侧的气体供给用阀，向减压阀供给气体。 q背压阀有故障的场合，请向本公司或代理店确认。
在流动的状态下逆时针方向（DECR）旋转调压手轮，则可降低
2）关闭进口侧和出口侧的气体用阀，并最少放置10分钟，然后，
出口压力。
确认出口侧压力。
3）顺时针方向（INCR）旋转调压手轮，出口侧压力稳定后在调整 u产品若在使用中发生振动，应立即中止使用。
压力范围，最少放置10分钟，确认出口侧压力。 根据使用条件等，元件或出口侧压力可能会与响声一起发生短
2）、3）出口侧压力不断上升的场合，内部可能有泄漏，应立即 促的振动现象（发振）。此时，应立即中止使用，并与本公司或 流量开关
中止使用，并与本公司或代理店商谈。 代理店商谈。
e卸下使用了腐蚀性气体、毒性气体、可燃性气体的产品时，
应完全排出产品内部及前后配管内的气体。
产品取下之前，应顺时针方向（INCR）旋转调压手轮，使其处于
术语解说 技术资料
全开状态，用氮气等惰性气体进行充分清除，将残留气体完全
排出。

共同注意事项

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