Page 122 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀／气控型 低压 AP3500 系列
低压
AP3500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
● 备有N.C.和N.O. AP3540 AP3550
●对应LOTO可选项（AP3540） NPT 1/8
操作通口
●对应指示开关可选项（AP3550）

型号表示方法 RoHS
ø34.8
（进口侧） （出口侧）
AP 3 540 S 2PW FV4 FV4 （可选项）
指示开关
ø37.1
大小
记号 Cv值 可选项（仅AP3550）
3 0.29 记号 规格 M5螺纹
形式 通口数 无记号 — 操作通口
记号
记号 阀功能 最高使用压力 2PW 通口数 ISC N.C.指示开关 注1）
注2）
540 1.0MPa 2通口 ISO N.O.指示开关 109
550 常闭型（N.C.） 2.1MPa 注）通口数及通口位置也 注1）确认关闭状态。 88.7 83.3
580 常开型（N.O.） 1.7MPa 可变更。参见P.146 注2）确认打开状态。
材质 阀座材质
记号 阀体材质 记号 材质
S SUS316L二次熔炼 无记号 PCTFE（标准）
H 赫氏合金 ® C-22 配管连接方式（进口侧、出口侧） VS Vespel ®注） 11.2 11.2
记号 配管连接方式 注）材质记号H不能选择。
内面粗糙度 FV4 1 /4面密封接头（内螺纹） A A
记号 表面粗糙度 Ra max MV4 1 /4面密封接头（外螺纹） 面间距离变更 注） B B B B
无记号 0.4µm（标准） TW4 1 /4焊接管 记号 面间距离
M 0.25µm FV6 3 /8面密封接头（内螺纹） 无记号 53.8mm（标准）
V 0.18µm MV6 3 /8面密封接头（外螺纹） 1.75 44.5mm 45°
X 0.13µm TW6 3 /8焊接管 注）仅限材质记号S且配管连接方式TW4。
规格
2×M5×0.8 深6.4
（10-32UNF也可使用）
25.4
型号 AP3540 AP3550 AP3580
阀功能 常闭型（N.C.） 常开型（N.O.）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 底面图（共通） （mm）
使用压力范围 真空~1.0MPa 注1） 真空~2.1MPa 真空~1.7MPa 材质记号 配管连接方式 A B
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 FV4 35.3
破坏压力 最大使用压力的3倍 MV4
（但未冻结）
环境温度及使用流体温度 −10~71℃ 注2） AP3580 S TW4 m28.4 26.9
Cv值 0.29 FV6 49.0
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m / s NPT 1/8 MV6
外部泄漏 −10 TW6 33.7
3 注3）
向外泄漏 2×10 Pa · m / s 操作通口
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m / s FV4 36.8
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） MV4
配管连接方式 面密封接头、焊接管 H TW4 ø31.8 注） 27.4
操作压力 0.48~0.76MPa FV6 49.0
操作通口连接口径 NPT1 / 8 M5×0.8（10-32UNF也可使用） NPT1 / 8 MV6
操作通口位置 上面 侧面（360°可旋转） 上面 ø37.1 TW6 33.7
安装方式 底面安装 注）赫氏合金 ® 的场合，阀体形状为圆筒形。
内部容积 1.07cm 3
重量 0.68kg 注4） 0.82kg 注4） 0.68kg 注4）
LOTO （锁定） 对应可选项（部件型号：AP PL210） 注5） 无 Order
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合，为真空~0.9MPa。 注4）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 Made 订制规格
注2）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合，为Max.90℃。另外，高 注5）参见可选项规格（P.145）。
温规格也可对应。详情请与本公司确认。 80.6 可制作整块2位3通阀等。
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）确定。 详情请与本公司确认。
指示开关（可选项）规格 接触气体部材质

可选项记号 ISO ISC 材质记号 S H
开关方式 SPST 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 11.2
NO NC 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光 A
触点构造
（阀开回路闭） （阀闭回路闭） 膜片 Elgiloy ® B B
额定电压 最大 DC50V 阀座 PCTFE（可选项： Vespel ® ） PCTFE
额定电流 最大 100mA
触点容量 1.0 VA
初期接触阻抗 0.1Ω以下
端子形状 带焊锡的端子
Elgiloy ® 是Elgiloy Specialty Metals公司的注册商标。赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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