Page 124 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 低压 AP4500 系列
低压
AP4500 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
备有N.C.和N.O. AP4540 AP4550
●
● 对应LOTO可选项（AP4540） NPT 1/8
操作通口
● 对应指示开关可选项（AP4550）

型号表示方法 RoHS
ø34.8
（进口侧） （出口侧）
AP 4 540 S 2PW FV6 FV6 （可选项）
指示开关
ø37.1
大小
记号 Cv值 可选项（仅AP4550）
4 0.5 通口数 记号 规格 M5螺纹
形式 记号 通口数 无记号 — 注1） 操作通口
ISC
记号 阀功能 最高使用压力 2PW 2通口 ISO N.C.指示开关 注2） 109
540 0.9MPa 注）通口数及通口位置也 N.O.指示开关
550 常闭型（N.C.） 2.1MPa 可变更。参见P.146。 注1）确认关闭状态。 88.7 83.3
580 常开型（N.O.） 1.7MPa 注2）确认打开状态。
阀座材质
材质
记号 材质
记号 阀体材质 无记号 PCTFE（标准）
S SUS316L二次熔炼 VS 11.2 11.2
H 赫氏合金 ® C-22 配管连接方式（进口侧、出口侧） Vespel ®注）
记号 配管连接方式 注）材质记号H不能选择。 A A
内面粗糙度 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） B B B B
记号 表面粗糙度 Ra max MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 面间距离变更 注）
无记号 0.4µm（标准） TW4 1/4焊接管 记号 面间距离
M 0.25µm FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 无记号 53.8mm（标准） 45°
V 0.18µm MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 1.75 44.5mm
X 0.13µm TW6 3/8焊接管
注）仅限材质记号S且配管连接方式TW4。
规格 2×M5×0.8 深6.4
（10-32UNF也可使用） （mm）
25.4
型号 AP4540 AP4550 AP4580 材质记号 配管连接方式 A B
阀功能 常闭型（N.C.） 常开型（N.O.） FV4 35.3
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 底面图（共通） MV4
使用压力范围 真空~0.9MPa 真空~2.1MPa 真空~1.7MPa S TW4 m28.4 26.9
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 FV6 49.0
破坏压力 最大使用压力的3倍 MV6
（但未冻结）
环境温度及使用流体温度 −10~71℃ 注1） AP4580 TW6 33.7
FV4
Cv值 0.5 NPT 1/8 MV4 36.8
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 操作通口
3
外部泄漏 TW4 27.4
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2） H FV6 ø31.8 注）
3
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s MV6 49.0
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） TW6
配管连接方式 面密封接头、焊接管 33.7
操作压力 0.48~0.76MPa 注）赫氏合金 ® 的场合，阀体形状为圆筒形 。
操作通口连接口径 NPT1/8 M5×0.8（10-32UNF也可使用） NPT1/8
操作通口位置 上面 侧面（360°可旋转） 上面 ø37.1
安装方式 底面安装 Order
内部容积 1.07cm 3 Made 订制规格
重量 0.68kg 注3） 0.82kg 注3） 0.68kg 注3）
LOTO（锁定） 对应可选项（部件型号：AP PL210） 注4） 无
注1）阀座材质是Vespel ® （聚酰亚胺树脂）的场合，为Max.90℃。高温规格 注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 可制作整块2位3通阀等。
也可对应。详情请与本公司确认。 注4）参见可选项规格（P.145）。 详情请与本公司确认。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。 80.6
指示开关（可选项）规格 接触气体部材质
可选项记号 ISO ISC 材质记号 S H
开关方式 SPST 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 11.2
NO NC 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光
触点构造 A
（阀开回路闭） （阀闭回路闭） 膜片 Elgiloy ®
额定电压 最大 DC50V 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ） PCTFE B B
额定电流 最大 100mA
触点容量 1.0 VA
初期接触阻抗 0.1Ω以下
端子形状 带焊锡的端子
Elgiloy ® 是Elgiloy Specialty Metals公司的注册商标。赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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