Page 128 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 高压大流量 AP3130 AP3113 系列
、
高压大流量
AP3130、 AP3113 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
N.C. AP3113 带指示开关
●
进口侧对应高压 AP3113：最大 9.0MPa NPT 1/8 NPT 1/8 指示开关 注）
●
AP3130：最大 20.7MPa 操作通口 操作通口 （可选项）
● 对应大宗气体
● 对应LOTO可选项
型号表示方法 RoHS
注）安装位置随产品而不同。
（进口侧） （出口侧） ø50.3
AP31 30 S 2PW MV8 MV8
ø50.3
大小 可选项
记号 最高使用压力 Cv值 通口数 记号 规格
13 9.0MPa 1.0 记号 通口数 无记号 —
30 20.7MPa 注） 0.7 2PW 2通口 IS 带指示开关 注）
注）配管连接口径3/4英寸的场合 注）确认开闭状态。
为16.5MPa。 配管连接方式（进口侧、出口侧）
材质 记号 配管连接方式 阀座材质 160
记号 阀体材质 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 记号 材质 146.3
S SUS316L二次熔炼 MV4 1/4面密封接头（外螺纹）
H 赫氏合金 ® C-22 注） TW6 3/8焊接管 无记号 PCTFE（标准）
VS
Vespel ®注）
注）阀体材质赫氏合金、配管连 FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 注）材质记号H不能选择。 18.2
接口径 1/2"以上的场合，为符 MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 18.2
合出口贸易管理令及美国出口 TW8 1/2焊接管
管制条例（EAR）的产品。 FV12 3/4面密封接头（内螺纹） 注）
内面粗糙度 MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 注） A A A A
记号 表面粗糙度 Ra max TW12 3/4焊接管
无记号 0.4µm（标准） 注）请准备一个符合用途的额定电压的配接头。 2×M5×0.8 深6.4 ø50.8
M 0.25µm （10-32UNF也可使用）
规格 45° 38.1

型号 AP3113 AP3130
阀功能 常闭型（N.C.）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 A A
使用压力范围 真空~9.0MPa 真空~20.7MPa
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 底面图（共通）
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −10~65℃（但未冻结） AP3130
Cv值 注1） 1.0 0.7 带指示开关
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s NPT 1/8 NPT 1/8 指示开关 注）
3
外部泄漏 −10
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注2） 操作通口 操作通口 （可选项）
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm）
配管连接方式 面密封接头、焊接管
操作压力 0.48~0.76MPa
操作通口连接口径 NPT1/8 注）安装位置随产品而不同。
操作通口位置 上面 ø50.3
安装方式 底面安装
内部容积 6.0cm 3
重量 1.27kg 注3） ø50.3
LOTO（锁定） 对应可选项（部件型号: AP PL210） 注4）
注1）配管连接口径1/2英寸时的值。 注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
注2）用钟罩法（氦气进口侧压力3.5MPa）测定。 注4）参见可选项规格（P.145）。
（mm）
指示开关（可选项）规格 接触气体部材质 配管连接方式 A
FV4
可选项记号 IS 材质记号 S H 127.5 141 MV4 50.8
开关方式 SPDT 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 TW6 34.9
额定电压 最大 DC 30V 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光 FV8
触点容量 最大 3VA 弹簧 SUS316 镍铬铁 ® 600 18.2 18.2 MV8 61.6
开闭电流 最大 0.2A 膜片 Elgiloy ® TW8 45.5
通电电流 最大 0.5A 阀芯 SUS316L 赫氏合金 ® C-22 FV12
导线 AWG 24 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ） PCTFE A A A A MV12 88.9
电缆长度 3m TW12 82.6
电缆 蓝：COM线
颜色（导线） 棕：NC（阀闭回路闭）
黑：NO（阀开回路闭） Elgiloy ® 是Elogiloy Specialty Metals公司的注册商标。赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
镍铬铁（Inconel） ® 是Special Metals公司的注册商标。Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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