Page 131 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 大流量 AP3700 系列
大流量
AP3700 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
备有N.C.和N.O.
● 材质记号 S
● 整块上可对应清除通口 阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光+钝化处理
膜片 SUS316L
阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ）
减压阀
型号表示方法 RoHS

（进口侧） （出口侧） 外形尺寸图
AP37 00 S MV8 MV8 00 AP3700

可选项（仅AP3700） 带指示开关 AP
型号
记号 规格 SL
记号 阀功能 无记号 —
00 常闭型（N.C.） ISC N.C.指示开关 注1）
08 常开型（N.O.） 内面粗糙度 ISO 注2） AZ
记号 表面粗糙度 Ra max N.O.指示开关
材质 无记号 0.4µm（标准） 注1）确认关闭状态。 AK
注2）确认打开状态。
记号 阀体材质 M 0.25µm 41.1 41.1
S SUS316L二次熔炼 V 0.18µm 清除通口可选项 BP
X 0.13µm 记号 规格
无记号 —
通口位置 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） C 带清除通口盖 41.7
记号 配管连接方式 41.7 隔膜阀隔膜阀
TW6 3/8焊接管 阀座材质
q FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 清除通口 注） 记号 材质
w MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 记号 进口侧e 出口侧r 无记号 PCTFE（标准） 指示开关
TW8 1/2焊接管 00 无 无 VS Vespel ® ø63 （可选项）
r e FV12 3/4面密封接头（内螺纹） M0 有 无
MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 0B 无 有
TW12 3/4焊接管 MB 有 有
注）标准清除通口为1/4面密封
接头（外螺纹）。 M5螺纹 单向阀
规格 操作通口

型号 AP3700 AP3708
阀功能 常闭型（N.C.） 常开型（N.O.） 150
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 127 127
使用压力范围 真空~1.7MPa
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −10~71℃（但未冻结） 真空发生器
Cv值 2.8
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1）
3
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s 14.2 14.2
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） A A
配管连接方式 面密封接头、焊接管
操作压力 0.55~0.7MPa
操作通口连接口径 M5×0.8（10−32UNF也可使用） （50.8） （mm）
操作通口位置 侧面（360°可旋转） 配管连接方式 A 流量开关
安装方式 底面安装 TW6 108.0
内部容积 12.52cm 3 FV8 67.3
重量 1.54kg 注2） MV8
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。 25.4 TW8 108.0
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 FV12 81.3
MV12
2×M5×0.8 深6.4 TW12 108.0
指示开关（可选项）规格 （10-32UNF也可使用） 术语解说 技术资料
43.9
可选项记号 ISO ISC Order
开关方式 SPST 底面图（共通） Made 订制规格
触点结构 NO （阀开回路闭） NC（阀闭回路闭） 共同注意事项
额定电压 最大 DC50V 可制作变更通口位置和2位3通阀等。
额定电流 最大 100mA 详情请与本公司确认。
触点容量 1.0VA
初期接触阻抗 0.1Ω以下
端子形状 带焊锡的端子
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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