Page 130 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 大流量 AP3700 系列
大流量
AP3700 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
备有N.C.和N.O.
● 材质记号 S
● 整块上可对应清除通口 阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光+钝化处理
膜片 SUS316L
阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ）
型号表示方法 RoHS

（进口侧） （出口侧） 外形尺寸图
AP37 00 S MV8 MV8 00 AP3700

可选项（仅AP3700） 带指示开关
型号
记号 规格
记号 阀功能 无记号 —
00 常闭型（N.C.） ISC N.C.指示开关 注1）
08 常开型（N.O.） 内面粗糙度 ISO 注2）
记号 表面粗糙度 Ra max N.O.指示开关
材质 无记号 0.4µm（标准） 注1）确认关闭状态。
注2）确认打开状态。
记号 阀体材质 M 0.25µm 41.1 41.1
S SUS316L二次熔炼 V 0.18µm 清除通口可选项
X 0.13µm 记号 规格
无记号 —
通口位置 配管连接方式（进口侧q、出口侧w） C 带清除通口盖 41.7
记号 配管连接方式 41.7
TW6 3/8焊接管 阀座材质
q FV8 1/2面密封接头（内螺纹） 清除通口 注） 记号 材质
w MV8 1/2面密封接头（外螺纹） 记号 进口侧e 出口侧r 无记号 PCTFE（标准） 指示开关
TW8 1/2焊接管 00 无 无 VS Vespel ® ø63 （可选项）
r e FV12 3/4面密封接头（内螺纹） M0 有 无
MV12 3/4面密封接头（外螺纹） 0B 无 有
TW12 3/4焊接管 MB 有 有
注）标准清除通口为1/4面密封
接头（外螺纹）。 M5螺纹
规格 操作通口

型号 AP3700 AP3708
阀功能 常闭型（N.C.） 常开型（N.O.） 150
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 127 127
使用压力范围 真空~1.7MPa
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −10~71℃（但未冻结）
Cv值 2.8
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1）
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s 14.2 14.2
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） A A
配管连接方式 面密封接头、焊接管
操作压力 0.55~0.7MPa
操作通口连接口径 M5×0.8（10−32UNF也可使用） （50.8） （mm）
操作通口位置 侧面（360°可旋转） 配管连接方式 A
安装方式 底面安装 TW6 108.0
内部容积 12.52cm 3 FV8 67.3
重量 1.54kg 注2） MV8
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。 25.4 TW8 108.0
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 FV12 81.3
MV12
2×M5×0.8 深6.4 TW12 108.0
指示开关（可选项）规格 （10-32UNF也可使用）
43.9
可选项记号 ISO ISC Order
开关方式 SPST 底面图（共通） Made 订制规格
触点结构 NO （阀开回路闭） NC（阀闭回路闭）
额定电压 最大 DC50V 可制作变更通口位置和2位3通阀等。
额定电流 最大 100mA 详情请与本公司确认。
触点容量 1.0VA
初期接触阻抗 0.1Ω以下
端子形状 带焊锡的端子
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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