Page 127 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 高压 AP3000 系列
高压
AP3000 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
N.C. AP3000
●
● 高压对应 Max.20.7MPa 带指示开关
● 对应LOTO可选项
NPT 1/8 NPT 1/8 指示开关 注）
● 对应指示开关可选项 操作通口 操作通口 （可选项）
减压阀
型号表示方法 RoHS

（进口侧） （出口侧）
AP30 00 S 2PW FV4 FV4
注）安装位置随产品而不同。 AP
大小 可选项
记号 Cv值 通口数 记号 规格 ø50.3 SL
00 0.23 无记号 —
02 0.28 记号 通口数 IS 注）
2PW 2通口 带指示开关 AZ
材质 注）通口数及通口位置也 注）确认开闭状态。 ø50.3
记号 阀体材质 可变更。参见P.146。 阀座材质 AK
S SUS316L二次熔炼
H 赫氏合金 ® C-22 记号 材质 BP
无记号 PCTFE（标准）
配管连接方式（进口侧、出口侧） VS Vespel ®注）
内面粗糙度
记号
记号 表面粗糙度 Ra max FV4 配管连接方式 注）材质记号H不能选择。
无记号 0.4µm（标准） MV4 1/4面密封接头（内螺纹） 面间距离变更 注） 隔膜阀隔膜阀
M 0.25µm TW4 1/4面密封接头（外螺纹）
V 0.18µm FV6 1/4焊接管 记号 面间距离 118
X 0.13µm 3/8面密封接头（内螺纹） 无记号 53.8mm（标准） 104.1
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） 1.75 44.5mm
TW6 3/8焊接管 注）仅限材质记号S且配管连接方式TW4。

规格
型号 AP3000 AP3002 11.2 11.2 单向阀
阀功能 常闭型（N.C.）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 A A
使用压力范围 真空~20.7MPa B B B B
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −10~71℃（但未冻结）
Cv值 0.23 0.28 45°
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1） 真空发生器
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） 25.4 2×M5×0.8 深6.4
配管连接方式 面密封接头、焊接管 （10-32UNF也可使用）
操作压力 0.48~0.76MPa
操作通口连接口径 NPT1/8
操作通口位置 上面 底面图（共通）
安装方式 底面安装
内部容积 1.07cm 3
重量 1.27kg 注2） （mm） Order
LOTO（锁定） 对应可选项（部件型号：AP PL210） 注3） 材质记号 配管连接方式 A B Made 订制规格 流量开关
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力6.9MPa）测定。 注3）参见可选项规格（P.145）。 FV4 35.3
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。 MV4 可制作整块2位3通阀等。
TW4
S m28.4 26.9 详情请与本公司确认。
指示开关（可选项）规格 接触气体部材质 FV6 49.0
MV6
可选项记号 IS 材质记号 S H TW6 33.7
开关方式 SPDT 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 FV4 36.8 术语解说 技术资料
额定电压 最大 DC 30V 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光 MV4
触点容量 最大 3VA 膜片 Elgiloy ® H TW4 ø31.8 注） 27.4
开闭电流 最大 0.2A 阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ） PCTFE FV6 49.0
通电电流 最大 0.5A MV6
导线 AWG 24 TW6 33.7 共同注意事项
电缆长度 3m 注）赫氏合金 ® 的场合，阀体形状为圆筒形 。
电缆 蓝：COM线
颜色（导线） 棕：NC（阀闭回路闭）
黑：NO（阀开回路闭）
Elgiloy ® 是Elgiloy Specialty Metals公司的注册商标。赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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