Page 132 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 二段式 AP3571 AP4571 系列
、
二段式
AP3571、 AP4571 系列

● 2段式－调整流量和全开流量可2段动作 接触气体部材质
● 2个独立的操作通口
● 缓慢开启阀，可抑制真空室中压力的干扰 材质记号 S
注）
● 调整流量可在订货时指定 AP3571：10~200L/min（nor） 阀体 SUS316L二次熔炼
AP4571：10~350L/min（nor） 表面处理 电解抛光+钝化处理
注）
N.C.
● 膜片 Elgiloy ®
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 阀座 PCTFE
注）N2气体0.55MPa时 RoHS
型号表示方法
（进口侧） （出口侧） 外形尺寸图
AP 3 571 S 2PW FV4 FV4 M 050
AP3571 & AP4571
大小
记号 Cv值
3 0.29
4 0.5
限制流量（预置）
形式 记号 ø43.7
记号 驱动方式 阀功能 工厂出货时的流量（L/min（nor））用3位数字记入。
571 2段式 常闭型（N.C.） （3位数字） 例，50L/min（nor）的场合为“050”。
AP3571在10~200L/min（nor）、AP4571在
材质 10~350L/min（nor）的范围内。
记号 阀体材质 注）
S SUS316L二次熔炼 面间距离变更
记号 面间距离
内面粗糙度 无记号 53.8mm（标准）
记号 表面粗糙度 1.75 44.5mm 最大92.2
无记号 0.4µm（标准） 注）仅限材质记号S且配管连接方式TW4。
M 0.25µm
V 0.18µm 配管连接方式（进口侧、出口侧）
X 0.13µm 记号 配管连接方式
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 11.2
通口数 MV4 1/4面密封接头（外螺纹）
记号 通口数 TW4 1/4焊接管 注） A
2PW 2通口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） B B
注）通口数及通口位置可变更。 MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
参见P.146。 TW6 3/8焊接管
注）AP4571不能选择TW4。
规格
45°
型号 AP3571 AP4571
阀功能 常闭型（N.C.）
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
使用压力范围 真空~0.9MPa 25.4 2×M5×0.8 深6.4
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 （10-32UNF也可使用）
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温 0~51℃（但未冻结）
Cv值 0.29 0.5
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1）
3
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）
配管连接方式 面密封接头、焊接管
操作压力 0.48~0.76MPa
操作通口连接口径 M5×0.8（10-32UNF也可使用） （mm）
操作通口位置 侧面（2处） 材质记号 配管连接方式 A B
安装方式 底面安装 FV4
内部容积 1.07cm 3 MV4 35.3
初期流量的调整范围 注2） 10~200L/min（nor） 10~350L/min（nor） TW4 26.9
10~20L/min（nor） ±6L/min（nor） S FV6 m28.4
21~50L/min（nor） ±10L/min（nor） MV6 49.0
初期流量的 51~100L/min（nor） ±15L/min（nor）
精度 注2） TW6 33.7
101~200L/min（nor） ±20L/min（nor）
201~350L/min（nor） ±25L/min（nor）
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。
注2）N2气体进口压力0.55MPa、出口压力0MPa时的值。
Elgiloy ® 是Elogiloy Specialty Metals公司的注册商标。
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