Page 136 - 21-工艺气体元件(特气阀)
P. 136
高纯度适用 隔膜阀 手动型 高纯度适用 隔膜阀/手动型 AP3600 系列
AP3600 系列
● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
LOTO标准对应:AP3657 AP3600 AP3625
●
LOTO可选项对应:AP3625
● 对应指示开关可选项(AP3650)
型号表示方法 RoHS
52.1
(进口侧) (出口侧) ø53.8 37.6
AP 3 650 S 2PW FV4 FV4 ø23.9
大小
可选项(仅AP3650)
记号 Cv值 记号 规格
3 0.29 配管连接方式(进口侧、出口侧)
形式 记号 配管连接方式 无记号 —
记号 手轮规格 FV4 1/4面密封接头(内螺纹) ISH 带指示开关 注) 76.2 74.7
600 圆柱手轮、多圈 MV4 1/4面密封接头(外螺纹) 注)确认开闭状态。
625 杠杆手轮、1/4圈 TW4 1/4焊接管 安装可选项
650 圆柱手轮、1/4圈、带开闭指示窗 FV6 3/8面密封接头(内螺纹) 记号 内容
657 拉动回转型 圆柱手轮 带锁定 MV6 3/8面密封接头(外螺纹) 无记号 底面安装(标准)
材质 TW6 3/8焊接管 P 面板安装 注) A 11.2 A 11.2
记号 阀体材质 内面粗糙度 通口数 面间距离变更 注) 注)面板安装孔为ø19.8。 B B B B
SUS316L 记号 表面粗糙度 Ra max 阀座材质
S 记号 通口数 记号 面间距离
二次熔炼 无记号 0.4µm(标准) 2PW 记号 材质
M 0.25µm 2通口 无记号 53.8mm(标准) 无记号 PCTFE(标准)
H 赫氏合金 ® C-22 注)通口数及通口位置可 1.75 44.5mm
V 0.18µm VS Vespel ®注)
X 0.13µm 变更。参见P.146。 注)仅限材质记号S且配管 注)材质记号H不能选择。 AP3650 AP3657
连接方式TW4。
规格 C L O S E
型号 AP3600 AP3625 AP3650 AP3657 P O
E
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 N
使用压力范围 真空~20.7MPa N E P O
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍 ø47.5
(但未冻结)
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ 注1) 3.2 10.2
Cv值 0.29 带指示开关
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s ø47.6
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注2)
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s
内面粗糙度 Ra max 0.4µm(可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm)
配管连接方式 面密封接头、焊接管 指示开关
安装方式 面安装(可选项: 面板安装) (可选项) 91.4
内部容积 1.07cm 3 76.7
重量 0.36kg 注3) 0.45kg 注3) 0.73kg 注3) 0.4kg 注3)
手轮规格 圆柱手轮、多圈型 杠杆手轮、1/4圈型 注4) 圆柱手轮、1/4圈型带开闭指示窗 拉动回转型 圆柱手轮 带锁定 注5)
误动作防止机构 无 可选项对应(部件型号: AP PL227) 注6) 无 标准对应
LOTO(锁定) 可选项对应(部件型号: AP PL225) 注6)
注1)阀座材质为Vespel ® 的场合为Max.90℃。另外,高温规格也可对应。 注4)杠杆颜色也可变更。请与本公司确认。
详情请与本公司确认。 注5)阀开时,手轮向上方拉再回转。 A A
注2)用钟罩法(氦气进口侧压力1.7MPa)测定。 注6)参见可选项规格(P.145)。 B B 11.2 B B 11.2
注3)重量是大致值,随配管连接方式和可选项等而不同。
指示开关(可选项)规格 接触气体部材质 (mm) 45°
可选项记号 ISH 材质记号 S H 材质记号 配管连接方式 A B
输出方式 NPN 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22 FV4 35.3 Order
电源电压 DC 3.8~30V 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光 MV4 Made 订制规格 2×M5×0.8 深6.4
输出电压 最大 DC 0.4V 膜片 Elgiloy ® S TW4 m28.4 26.9 25.4 (10-32UNF也可使用)
供给电流 最大 11mA 阀座 PCTFE(可选项: Vespel ® ) PCTFE FV6 49.0
输出电流 最大 20mA MV6 可制作整块2位3通阀等。
详情请与本公司确认。
导线 AWG 24 TW6 33.7 底面图(共通)
电缆 电缆长度 3m FV4 36.8
颜色(导线) 蓝(BL)、棕(BN)、黑(BK) MV4 27.4
TW4
配线图 BN H FV6 ø31.8 注)
+ MV6 49.0
BL
指示开关 负载 Elgiloy ® 是Elogiloy Specialty Metals公司的注册商标。 TW6 33.7
BK 赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。 注)赫氏合金 ® 的场合,阀体形状为圆筒形。
− Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
135