Page 141 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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高纯度适用 隔膜阀 手动型 高纯度适用 隔膜阀/手动型 高压大流量 AP3100 系列
高压大流量
AP3100 系列
● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 接触气体部材质
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
高压对应:20.7MPa或9MPa
● 材质记号 S H
● 对应大宗气体 阀体 SUS316L二次熔炼 赫氏合金 ® C-22
LOTO标准对应:AP3157 表面处理 电解抛光+钝化处理 电解抛光
●
LOTO可选项对应:AP3125 弹簧 SUS316 Inconel镍铬铁 ® 600
膜片 Elgiloy ® 减压阀
SUS316L
型号表示方法 RoHS 阀芯 PCTFE(可选项: Vespel ® ) 赫氏合金 ® C-22
PCTFE
阀座
(进口侧) (出口侧) 外形尺寸图
AP31 00 S 2PW MV8 MV8 AP3125 52.1
37.6 AP
形式 通口数 ø23.9
记号 最高使用压力 Cv值 手轮规格 记号 通口数 可选项(仅AP3150) SL
00 20.7MPa 注) 0.7 2PW 2通口 记号 规格
02 9.0MPa 1.3 圆柱手轮、多圈 无记号 — AZ
25 20.7MP 注) 1.0 杠杆手轮、1/4圈 ISH 带指示开关付 注)
50 9.0MPa 1.0 圆柱手轮、1/4圈 配管连接方式(进口侧、出口侧) 注)确认开闭状态。 AK
拉动回转型 圆柱手轮 记号 配管连接方式
57 9.0MPa 1.0 带锁定 FV4 1/4面密封接头(内螺纹)
注)配管连接口径3/4英寸的场合为16.5MPa。 MV4 1/4面密封接头(外螺纹) 阀座材质 材质 98.0 BP
记号
材质 TW6 3/8焊接管 无记号 PCTFE(标准)
记号 阀体材质 FV8 1/2面密封接头(内螺纹) VS Vespel ®注)
S SUS316L二次熔炼 MV8 1/2面密封接头(外螺纹) 注)材质记号H不能选择。 隔膜阀隔膜阀
H 赫氏合金 ® C-22 内面粗糙度 TW8 1/2焊接管
FV12
注)阀体材质用赫氏合金、配管连 记号 表面粗糙度 Ra max MV12 3/4面密封接头(内螺纹) 注) 18.2
注)
接口径1/2"以上的场合,为符 无记号 0.4µm(标准) 3/4面密封接头(外螺纹)
合出口贸易管理令及美国出 M 0.25µm TW12 3/4焊接管
口管制条例(EAR)的产品。 注)请准备一个符合用途的额定电压的配接头。 A A
规格
AP3157 ø47.5 AP3150
型号 AP3100 AP3102 AP3125 AP3150 AP3157 AP3150 ø47.6 带指示开关
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 AP3100 ø53.8 指示开关 单向阀
使用压力范围 真空~20.7MPa 真空~9.0MPa 真空~20.7MPa 真空~9.0MPa (可选项)
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~65℃ 注1)
(但未冻结)
Cv值 注2) 0.7 1.3 1.0
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注3)
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s 真空发生器
内面粗糙度 Ra max 0.4µm(可选项: 0.25µm)
配管连接方式 面密封接头、焊接管 AP3157 113.3 AP3150 100.1 AP3100 95.0
安装方式 底面安装
内部容积 6.0cm 3
重量 1.27kg 注4)
杠杆手轮 圆柱手轮 拉动回转型 圆柱手轮
手轮规格 圆柱手轮、多圈型(1 1/2圈) 注7)
1/4圈型 注5) 1/4圈型带开闭指示窗 注6) 带锁定
可选项对应 注8) 18.2
误动作防止机构 (部件型号: AP PL227)
无 注8) 无 标准对应
可选项对应
LOTO(锁定) (部件型号: AP PL225) A A 流量开关
ø50.8
注1)座材质为Vespel ® 的场合为Max.90℃。 注5)杠杆颜色也可变更。请与本公司确认。 2×M5×0.8 深6.4
注2)配管连接口径1/2英寸时的值。 注6)带指示开关也可对应。请与本公司确认。
注3)用钟罩法(氦气进口侧压力3.5MPa)测定。 注7)阀开时,手轮向上方拉再回转。 (10-32UNF也可使用)
注4)重量是大致值,随配管连接方式和可选项等而不同。 注8)参见可选项规格(P.145)。 (mm) 38.1
配管连接方式 A 45°
指示开关(可选项)规格 FV4 50.8
MV4 术语解说 技术资料
可选项记号 ISH 配线图 TW6 34.9
FV8
输出方式 NPN MV8 61.6
电源电压 DC 3.8~30V BN + TW8 45.4
输出电压 最大 DC 0.4V 共同注意事项
供给电流 最大 11mA 指示开关 BL 负载 FV12 88.9 A A
输出电流 最大 20mA MV12
导线 AWG 24 BK TW12 82.6 底面图(共通)
电缆 电缆长度 3m −
颜色(导线) 蓝(BL)、棕(BN)、黑(BK) Elgiloy ® 是Elogiloy Specialty Metals公司的注册商标。赫氏合金 ® 是Haynes International公司的注册商标。
镍铬铁(Inconel) ® 是Special Metals公司的注册商标。Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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