Page 144 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 手动型 高纯度适用 隔膜阀/手动型 阀座金属密封 AP3260 系列
阀座金属密封
AP3260 系列

● 适用于高纯度工艺气体供给气路 结构尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
● 接触气体部全为金属 AP3260

型号表示方法 RoHS

（进口侧） （出口侧）
AP32 60 S 2PW MV4 MV4

手动型 安装可选项
记号 内容 ø53.8
材质 无记号 底面安装（标准）
记号 阀体材质 P 面板安装 注）
S SUS316L二次熔炼 注）面板安装孔尺寸为ø19.8。

内面粗糙度
记号 表面粗糙度 Ra max 面间距离变更 注）
无记号 0.4µm（标准） 记号 面间距离 76.2
M 0.25µm 无记号 53.8mm（标准）
V 0.18µm 1.75 44.5mm
X 0.13µm 注）配管连接方式仅TW4。

通口数 配管连接方式（进口侧、出口侧）
记号 通口数 记号 配管连接方式 A 11.2
2PW 2通口 FV4 1/4面密封接头（内螺纹） B B
注）通口数及通口位置可变更。 MV4 1/4面密封接头（外螺纹）
参见P.146。 TW4 1/4焊接管
FV6 3/8面密封接头（内螺纹）
MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
TW6 3/8焊接管 45°
规格
2×M5×0.8 深6.4
（10-32UNF也可使用）
25.4
型号 AP3260
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
使用压力范围 真空~0.9MPa
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~90℃（但未冻结）
Cv值 0.27 （mm）
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 配管连接方式 A B
3
外部泄漏
3
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1） FV4
−7
3
内部泄漏 1×10 Pa · m /s 注2） MV4 35.3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm） TW4 m28.4 26.9
配管连接方式 面密封接头、焊接管 FV6 49.0
安装方式 底面安装（可选项: 面板安装） MV6
内部容积 1.07cm 3 TW6 33.7
重量 0.36kg 注3）
手轮规格 圆柱手轮、多圈型
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。
注2）氦气体进口侧压力0.9MPa下测定。
注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
接触气体部材质

材质记号 S
阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光+钝化处理
膜片 Elgiloy ®

Elgiloy ® 是Elgiloy Specialty Metals公司注册商标。
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