Page 143 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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高纯度适用 隔膜阀 手动型 高纯度适用 隔膜阀/手动型 大流量 AP3800 AP3900 系列
、
大流量
AP3800、 AP3900 系列
● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
● 整块上有清除通口 AP3800 AP3900
● LOTO标准对应(AP3900)
RoHS 减压阀
型号表示方法
(进口侧) (出口侧)
AP 3800 S M MV8 MV8 00 41.1 41.1
AP
形式
记号 手轮规格 清除通口可选项 SL
3800 圆柱手轮、带开闭指示窗 记号 规格
3900 拉动回转型 圆柱手轮 带锁定 无记号 — 41.7 41.7 AZ
C 带清除通口盖
材质
记号 阀体材质 内面粗糙度 阀座材质 AK
S SUS316L二次熔炼 记号 表面粗糙度 Ra max 记号 材质 ø57.2
无记号 0.4µm(标准) 无记号 PCTFE 10.2 BP
M 0.25µm VS Vespel ®
V 0.18µm
X 0.13µm 清除通口 ø57.2
记号 进口侧e 出口侧r 3.2 隔膜阀隔膜阀
配管连接方式(进口侧q、出口侧w) 00 无 无
通口位置 记号 配管连接方式 M0 有 无
TW6 3/8焊接管 0B 无 有
FV8 1/2面密封接头(内螺纹) MB
q MV8 1/2面密封接头(外螺纹) 有 有 92.5
w TW8 1/2焊接管 注)清除通口标准为1/4面密封 72.4
接头(外螺纹)。
FV12 3/4面密封接头(内螺纹)
r e MV12 3/4面密封接头(外螺纹)
TW12 3/4焊接管 单向阀
规格 14.2 14.2
型号 AP3800 AP3900 A A A A
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
使用压力范围 真空~1.7MPa
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温度 −40~71℃(但未冻结) 真空发生器
Cv值 2.8 (50.8) (50.8)
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏 −10
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注1)
3
内部泄漏 1×10 −10 Pa · m /s
内面粗糙度 Ra max 0.4µm(可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm)
配管连接方式 面密封接头、焊接管 25.4 25.4
安装方式 底面安装
内部容积 12.52cm 3
重量 1.36kg 注2) 1.45kg 注2) 2×M5×0.8 深6.4 流量开关
手轮规格 圆柱手轮、带开闭指示窗 拉动回转型 圆柱手轮 带锁定 注3) 43.9 (10-32UNF也可使用) 43.9 2×M5×0.8 深6.4
误动作防止机构 无 标准对应 ( 10-32UNF 也可使用)
LOTO(锁定)
注1)用钟罩法(氦气进口侧压力0.9MPa)测定。
注2)重量是大致值,随配管连接方式和可选项等而不同。
注3)阀开时,手轮向上方拉再回转。
(mm)
配管连接方式 A 术语解说 技术资料
接触气体部材质 TW6 108.0
FV8 Order
MV8 67.3 Made 订制规格
材质记号 S TW8 108.0
阀体 SUS316L二次熔炼 FV12 81.3 可制作变更通口位置和2位3通阀等。 共同注意事项
表面处理 电解抛光+钝化处理 MV12 详情请与本公司确认。
膜片 SUS316L TW12 108.0
阀座 PCTFE(可选项: Vespel ® )
Vespel ® 是Dupont公司的注册商标。
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