Page 135 - 21-工艺气体元件（特气阀）

高纯度适用 隔膜阀 气控型 高纯度适用 隔膜阀/气控型 阀座金属密封 AP3200 系列
阀座金属密封
AP3200 系列

● 适用于高纯度工艺气体的供给气路 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
● 接触气体部全为金属 AP3200
N.C 带指示开关
●
● 对应指示开关可选项
NPT 1/8 NPT 1/8 指示开关 注）
操作通口 操作通口 （可选项）
减压阀
型号表示方法 RoHS

（进口侧） （出口侧）
AP32 00 S 2PW FV4 FV4
注）安装位置随产品而不同。 AP
气控型 可选项 ø50.3
通口数 记号 规格 SL
—
材质 记号 通口数 无记号 带指示开关 注） AZ
IS
记号 阀体材质 2PW 2通口 注）开闭状态确认用。
S SUS316L二次熔炼 注）通口数及通口位置 ø50.3
可变更。参见P.146。 AK
面间距离变更 注）
内面粗糙度 记号 面间距离 BP
记号 表面粗糙度 Ra max 配管连接方式（进口侧、出口侧） 无记号 53.8mm（标准）
无记号 0.4µm（标准） 记号 配管连接方式 1.75 44.5mm
M 0.25µm FV4 1/4面密封接头（内螺纹） 注）配管连接方式仅限TW4。
V 0.18µm MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 隔膜阀隔膜阀
X 0.13µm TW4 1/4焊接管 118
FV6 3/8面密封接头（内螺纹） 104.1
MV6 3/8面密封接头（外螺纹）
TW6 3/8焊接管

规格

型号 AP3200 11.2 11.2 单向阀
阀功能 常闭型（N.C.） A
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 A
使用压力范围 真空~0.9MPa B B B B
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍
破坏压力 最大使用压力的3倍
环境温度及使用流体温 −10~100℃（但未冻结）
Cv值 0.27
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
3
外部泄漏 真空发生器
向外泄漏 2×10 −10 Pa · m /s 注1） 45°
3
−7
内部泄漏 1×10 Pa · m /s 注2）
3
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项: 0.25µm、0.18µm、0.13µm）
配管连接方式 面密封接头、焊接管
操作压力 0.48~0.76MPa 2×M5×0.8 深6.4
操作通口连接口径 NPT1/8 25.4 （10-32UNF也可使用）
操作通口位置 上面
安装方式 底面安装
内部容积 1.07cm 3
重量 1.27kg 注3） 流量开关
注1）用钟罩法（氦气进口侧压力0.9MPa）测定。
注2）氦气体进口侧压力0.9MPa下测定。
注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项等而不同。
指示开关（可选项）规格 接触气体部材质
（mm）
配管连接方式 A B
可选项记号 IS 材质记号 S FV4
开关方式 SPDT 阀体 SUS316L二次熔炼 MV4 35.3 术语解说 技术资料
额定电压 最大 DC 30V 表面处理 电解抛光+钝化处理 TW4 26.9
触点容量 最大 3VA 膜片 Elgiloy ® FV6 m28.4
开闭电流 最大 0.2A MV6 49.0
通电电流 最大 0.5A TW6 33.7 共同注意事项
导线 AWG 24
电缆长度 3m
电缆 蓝：COM线
颜色（导线） 棕：NC（阀闭回路闭）
黑：NO（阀开回路闭）
Elgiloy ® 是Elogiloy Specialty Metals公司的注册商标。
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