Page 167 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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技术资料：术语解说
                         工艺气体元件/共同注意事项q

                         使用前请务必读。


                                                                                                                     推荐品种
 【Vespel 】是Dupont公司的注册商标。  【向内泄漏】
 ®
 超耐热性塑料（聚酰亚胺树脂）。耐热性和耐摩擦性优良。作为  产品内部压力比外部压力低时引起的从产品外部向内部的泄漏  设计注意事项                   安装
 一种使用高温规格、N2O、CO2等特定气体时的阀座材料，供  量。测定时，让产品内部为真空，从外部吹氦气，检测侵入内
 您选择。  部的氦气。测定方法符号SEMI标准F1。  警告                                    注意
 【PEEK】  【向外泄漏】                                                                                                      减压阀
 聚醚醚酮。作为热可塑性树脂，有非常高的耐热性。另外，耐  产品内部压力比外部压力高时引起的从产品内部向外部的泄漏  q请确认规格。  u卡套接头的配管连接
 疲劳性和耐化学品性也优良。作为一种减压阀的阀座材料，供  量。测定时让产品内部充入氦气，检测向外部泄漏的氦气。测  系统适合性，由系统的设计者或决定规格的人，根据需要进行相  将配管的管子插入接头，用手拧紧螺母后，再用扳手旋转1又
 您选择。  定方法符号SEMI标准F1。另外，样本上记载的向外泄漏的值，  应分析和试验后决定。系统所期望的性能、安全性的保证，由决  1/4圈。配管材料请使用不锈钢管。配管后，请进行接头连接部
 【Viton  】是Dupont公司的注册商标。  是用钟罩法测定时的值。  定系统适合性的人负责。              的泄露检查。                                            AP
 ®
 氟橡胶（FKM）。耐热性、耐化学品性优良。  【内部泄漏】                                 iNPT螺纹的配管连接
 ®
 【Kalrey  】是Dupont公司的注册商标。  在产品内部的阀座部的泄漏量。测定方法符号SEMI标准F1。  选定    拧入配管材料时，请握住内螺纹侧按推荐的力矩进行。握住产                       SL
 高氟橡胶（FFKM）。具有比氟橡胶（FKM）更优良的耐热性、耐  另外，样本上记载的减压阀的内部泄漏值，是用钟罩法测定时    品时，请握住阀体部分。
 的值。
 化学品性。       警告                                                  配管和接头的螺纹部请使用PTFE密封带。使用PTFE密封带以外                   AZ
 【钟罩法】                                                           的密封材料时，产品通口螺纹部上附着的密封材料除去困难，
 4. 关于表面处理  一种泄漏试验方法，将封入氦气的试验体放入钟罩（真空容器）内，  q请确认规格。              会成为动作不良和故障的原因。                                    AK
 【电解抛光】  将钟罩连接泄漏检测器，检测从试验体向钟罩内漏出的氦气的方  有关元件的选定，请在确认使用气体、使用压力（进口侧、出口侧）、                                             BP
 让金属件在电解液中浸湿通电，使表面变得平滑、有光泽的处理方法。  法。  使用流量、使用温度范围等的基础上，在本样本上记载的规格范  o配管后请进行泄漏检查。
 【SEMI标准】  围内使用。特殊的气体、特别的用途和环境下，有不能使用的场                          根据用途，进行氦泄漏试验、压力降试验、或气泡法泄漏试验
 【钝化处理】   合。对使用气体，产品构成材料是否适合要确认。产品型号和使                           等泄漏检查。面密封接头和焊接管接头，按业界标准（参见
 让金属件在硝酸等的处理液中浸湿，表面上形成不动态膜（钝  国际半导体产业协会（SEMI）发布的自主标准。国际半导体产业  用气体的适合性，应按样本上记载的选定指南确认。  SEMI标准 F1），推荐氦泄漏试验。
 协会（SEMI）由提供半导体、平板显示、超精密技术、MEMS、
 化膜）的方法，耐蚀性提高。                                                                                                       隔膜阀
 太阳能发电、其他相关技术的制造装置、材料、相关服务的企  请在理解使用气体的特性后，进行系统的设计，元件的选定。
 5. 配管连接方式  业组成。  w应服从国家和地方自治体规定的法规、条例、或团体规格。                                   保管及使用环境
 【面密封接头】   参考）高压气体安全法、劳动安全卫生法等。
 在套管的前端上设置金属垫圈，随螺母的拧入，形成密封的接                                       警告
 头。从真空到正压都具有较高的密封性。
                               安装                              q请勿在化学品、海水、雨水的环境或附着这些物质的场
 【焊接管】                                                           所使用。
 气动元件配管时，不使用接头而直接在配管上焊接的形式。  警告                                w请勿在引起振动或冲击的场所使用。                                     单向阀
 【卡套接头】
 卡套式管接头，由于螺母的拧入，使用套圈2重压紧，让套圈  q使用说明书                           e周围温度在使用温度范围内可使用。另外，周围有热源
 咬紧配管进行连接。  请认真阅读，在理解内容的基础上，安装和使用产品。                             的场合，应切断辐射热。
           另外，为了能随时使用，请妥善保管。
 【NPT】                                                         r保管产品时，请在空气中没有水分的干燥状态下保管，
 美国的管用锥螺纹标准。         注意                                          以防灰尘、水分等进入。
 6. 关于规格  q配管时，用惰性气体进行吹除、洗净等之后再连接产品。                                                                                 真空发生器
 【内面粗糙度 Ra】  配管内若残留粉尘 · 锈末等，会成为动作不良和故障的原因。请
 表示阀体内表面（接触气体部）的表面粗糙度。Ra是算术平均  勿用惰性气体以外的气体吹除，非常危险。
 粗糙度，在基准长度中表面形状的峰与谷的平均值。Ra max  w产品的接头部和接触气体部不要直接用手触碰。另外，
 是在任意的部分，多个算术平均粗糙度Ra测定值中的最大的  产品各部上不可用润滑脂和油。
 测定值。
 【Cv值】   e请在清洁环境中打开封闭的包装品。（AK系列除外）。
 阀具有的容量系数，表示15.6℃的水在一定压差下，流过阀时  产品在洁净室内被密闭两重包装。内侧包装开封时应在洁净室                                                          流量开关
 的流量数值。计算出方法符合SEMI标准F32。另外，减压阀为  或清洁的环境中进行。
 全开状态时的值。
         r请确保维护空间。
 【开启压力】    请确保维护点检所需的空间。
 在单向阀中压力上升，阀开始打开，确认有一定流量时的压力。
 【最高真空压力】  t面密封接头的配管连接
 真空发生器产生的真空压力的最大值。  对接头请准备与产品接头尺寸相同的面密封接头（金属垫圈式面                                                                    术语解说术语解说  技术资料技术资料
           密封型）。
 【L/min（nor）】  请在接头前端插入垫圈，用手拧紧内螺纹螺母后，再用扳手旋
 气体标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。  转内螺纹螺母1/8圈。垫圈请使用不锈钢或镍。
 【压力特性】
 在减压阀的供给压力一定的状态下，将设定压力（出口压力）设  y焊接管接头的配管连接                                                                           共同注意事项共同注意事项
 定为某一数值后，随供给压力的变化，所产生的出口压力的变  按业界标准（参见SEMI标准 F78），进行配管焊接。
 化量。       流过清除气体时，确保元件的阀处于打开状态。若焊接进口侧，
           则从元件的出口侧流过清除气体，若焊接出口侧，则从元件的
           进口侧流过清除气体。
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