Page 162 - 21-工艺气体元件（特气阀）

工艺气体元件/单向阀单独注意事项 工艺气体元件/真空发生器单独注意事项

使用前请务必阅读。安全注意事项请参考封底，工艺气体元件的共同注意事项请由 P.166、167 使用前请务必阅读。安全注意事项请参考封底，工艺气体元件的共同注意事项请由 P.166、167
及《使用说明书》确认。 及《使用说明书》确认。
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选定 选定 使用注意事项

警告 警告 警告

q请确认规格。 q请确认规格。 q进口侧供给的流体应是氮气。
本产品在气体供给系统上，用于防止气体的逆流。单向阀气体 本产品在气体供给系统上，用于配管内的气体排气。关于元件 w内置气控型阀的元件，操作用的流体应是洁净的空气或
仅能从进口侧向出口侧流动。关于元件的选定请在确认使用流 的选定，请在确认使用流体、使用压力、使用流量、排出的工 氮气。
体、使用压力、使用流量、使用温度范围等的基础上，在本样 艺气体、氮气的供给压力和流量，由氮气供给流量产生的排气
e产生真空的场合，在进口侧供给规格压力范围内的氮气。
本记载的规格范围内使用。特殊的气体、特别的用途和环境下 气路的背压、操作压力、使用温度范围等的基础上，在本样本
在进口侧供给氮气，则产生真空。内置阀的元件，在进口侧供
有不能使用的情况。对使用流体，产品构成材料是否合适要确认。 上记载的规格范围内使用。特殊的气体、特别的用途和环境，
给氮气，打开阀，便产生真空。气控型阀的场合，在操作通口
请在理解使用流体的特性后，进行系统的设计、元件的选定。 有不能使用的情况。对使用流体，产品构成材料是否适合要确认。
施加操作压力就可打开阀。手动型阀的场合，将手轮逆时针方
请在理解使用流体的特性后，进行系统的设计、元件的选定。
向旋转至完全停止，则阀打开。
安装
r停止真空排气的场合，请停止进口侧的氮气供给。
注意 安装 停止供给进口侧的氮气，则停止真空排气。内置阀的元件，若
阀关闭，则停止真空排气。气控型阀的场合，若操作通口为大
q请确认产品的安装方向。 注意 气压力，则阀关闭。手动型阀的场合，将手轮顺时针方向旋转
在产品上用箭头表示，箭头的朝向是流体从进口侧向出口侧流
q请确认产品的安装方向。 至完全停止，则阀关闭。
动的方向。
有IN符号的一侧为进口侧、有OUT符号的一侧为排气侧。仅箭 t内置单向阀的元件，当真空侧或排气侧的压力超过进口
头表示的产品，箭头方向表示流体从进口侧向排气侧的流动方 侧的压力时，可防止向进口侧配管的逆流。
维护点检 向。进口侧和排气侧直线排列。真空侧相对于进口侧和排气侧 单向阀不论内置阀的开闭，当真空侧或排气侧的压力超过进口
的方向，是垂直方向的通口，有些产品有VAC符号。 侧压力时，可防止向进口侧配管的逆流。另外，选择常泄功能
警告 w请为操作通口连接操作用的流体。 可选项的产品，同样也可防止逆流。但没有从排气侧向真空侧

qAP64不能修理。 内置气控型阀的元件，请在操作通口上连接操作用的流体。操 的逆流防止功能。
AP64是焊接构造，通常情况下，若在产品内部发生问题，则不 作用的流体应使用氮气或洁净的空气。 y内置阀的元件选择常泄功能可选项的场合，即使关闭阀，
能修理。 进口侧上一旦供给氮气，则通过常泄孔在排气侧泄出
氮气。
维护点检
使用注意事项
警告
注意 q真空发生器有故障的场合，应与本公司或代理店商谈。

q单向阀不能作为气体的切断阀使用。
单向阀单体在压差小的场合，不能完全防止逆流。当已知二次
侧压力超过一次测压力时，请使用隔膜阀以防止逆流。

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