Page 161 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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流量开关 大流量 流量开关/大流量 AP74B 系列
AP74B 系列
● 采用旁路方式,可实现BSGS供给等的大流量应用 接触气体部材质
● 检测流量在225~2600L/min(nor)间有7个品种 推荐品种
● 安装方向(水平或垂直)可选择 材质记号 S
● 配管尺寸有1/2及3/4英寸 阀体 SUS316L
表面处理 电解抛光+钝化处理
浮子 SUS316L
金属垫圈 镍200 减压阀
型号表示方法 RoHS
外形尺寸图
(进口侧) (出口侧)
AP74B V 500 S M FV8 MV8 AP74B
C AP
安装方向
记号 安装方向 SL
H 水平配管 大小 内面粗糙度
V 垂直配管 记号 检测流量 注) 记号 表面粗糙度Ra max AZ
225 225L/min(nor) M 0.25µm
350 350L/min(nor) AK
500 500L/min(nor) 材质
950 950L/min(nor)
注)为N2氮气在0.69MPa时的 记号 阀体材质 BP
值。使用其他的压力或气 1100 1100L/min(nor) S SUS316L
体时,请参见选定注意事 1650 1650L/min(nor) B
项(P.160)。 2600 2600L/min(nor)
隔膜阀
安装方向 配管连接方式(进口侧、出口侧)
大小 进口
AP74BH 水平配管 AP74BV 垂直配管 记号 配管连接方式
225 350 500 950 1100 1650 2600
MV8 1/2面密封接头(外螺纹) ● ● ● ●
FV8 1/2面密封接头(内螺纹) ● ● ● ●
TW8 1/2焊接管 ● ● ● ●
MV12 3/4面密封接头(外螺纹) 注) ● ● ● A A
FV12 3/4面密封接头(内螺纹) 注) ● ● ●
TW12 3/4焊接管 ● ● ●
注)请准备一个符合用途的额定电压的配接头。 (mm) 单向阀
B
配管连接方式 A C
水平配管 垂直配管
MV8 90.2
FV8 115.6 68.6
TW8 65.8
规格 MV12 77.5
FV12 140.0 138.2 91.2
TW12 89.7 真空发生器
形式 AP74Bm225 AP74Bm350 AP74Bm500 AP74Bm950 AP74Bm1100 AP74Bm1650 AP74Bm2600
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体
使用压力范围 真空~24.1MPa 真空~20.7MPa
检测流量 注1)注2) 225L/min(nor) 350L/min(nor) 500L/min(nor) 950L/min(nor) 1100L/min(nor) 1650L/min(nor) 2600L/min(nor)
精度 检测流量的±20% 选定注意事项
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 规格的检测流量为N2气体在0.69MPa时的值。
破坏压力 最大使用压力的3倍 压力条件或气体不同的场合,按下式算出换算因子Fp和Fg,
环境温度及使用流体温度 −23~80℃(但未冻结) 乘以Fp及Fg后的值,就是在该条件下的检测流量。
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏
向外泄漏 2×10 −11 Pa · m /s 1. 压力条件的变更 2. 气体的变更 流量开关流量开关
3
内面粗糙度 Ra max 0.25µm
配管连接方式 1/2面密封接头、焊接管 3/4面密封接头、焊接管 Fp= OP Fg= 28
压力损失 0.0034MPa 注3) 0.79 MW
方式 SPDT、3芯/2位
额定电压(容量) DC30V(最大3W) OP:使用压力(绝对压力)MPa(abs) MW:使用气体的分子量
舌簧开关 开闭电流 最大0.2A
通电电流 最大0.5A 例)氢气(分子量2)、0.5MPa下使用的场合 术语解说 技术资料
初期接触阻抗 最大0.1Ω
导线 AWG24(PVC外皮) 1. 按压力条件的变更算出Fp 2. 按气体品种的变更算出Fg
电缆长度 3m
电缆 蓝: COM Fp= (0.5+0.1) = 0.871 Fg= 28 = 3.742
颜色(导线) 棕: N.C. 0.79 2 共同注意事项
黑: N.O.
重量 0.56kg 注4) 因此,检测流量用10L/min(nor)型(AP74010Sm)的场合,按此使用条件,检测流量为
注1)检测流量受温度变化的影响。(±2%以内) 10(L/min(nor))×0.871×3.742=32.6(L/min(nor))。
注2)为 N2气在0.69MPa时的值。使用其他的压力或气体时,请参见选定注意事项(P.160)。
注3)为检测流量流过时的值。
注4)重量是大致值,随配管连接方式和可选项而不同。
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