Page 158 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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流量开关 流量开关 AP74 系列
AP74 系列
● 检测流量在2~100L/min(nor)间有6个品种 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼
● 对应高压(Max.24.1MPa) AP74
● 一旦超过检测流量,内置磁石的浮子动作,舌簧开关
(SPDT、3芯/2位)有反应。
由N.C.或N.O.触点输出可检测 出口
型号表示方法 RoHS
C
(进口侧) (出口侧)
AP74 100 S MV4 MV4
A 25.4
大小
记号 检测流量 注)
002 2L/min(nor) 配管连接方式(进口侧、出口侧)
记号
005 5L/min(nor) MV4 配管连接方式
010 10L/min(nor) 1/4面密封接头(外螺纹) B
注)为N2氮气在0.69MPa时的 025 25L/min(nor) FV4 1/4面密封接头(内螺纹)
值。使用其他的压力或气 TW4 1/4焊接管
体时,请参见选定注意事 050 50L/min(nor) 9.4
项(P.160)。 100 100L/min(nor) 内面粗糙度 进口
记号 表面粗糙度Ra max
材质 无记号 0.4µm(标准) 19.1 22
M
记号 阀体材质 0.25µm
S SUS316L二次熔炼
规格
(mm)
形式 AP74002 AP74005 AP74010 AP74025 AP74050 AP74100 配管连接方式 A B C
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 MV4, MV4 57.2 15.9 15.9
使用压力范围 真空~24.1MPa FV4, FV4 101.4 38.0 38.0
检测流量 注1)注2) 2L/min(nor) 5L/min(nor) 10L/min(nor) 25L/min(nor) 50L/min(nor) 100L/min(nor) TW4, TW4 57.2 15.9
精度 检测流量的±10%或0.5L/min(nor)中的较大值 MV4, FV4 79.3 15.9 38.0
安装方向 进口侧向下且纵向(相对垂直8°以内) MV4, TW4 57.2
压力损失 0.0034MPa 注3) FV4, MV4 79.3 38.0 15.9
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 FV4, TW4
破坏压力 最大使用压力的3倍 TW4, MV4 57.2 15.9
环境温度及使用流体温度 −23~80℃(但未冻结) TW4, FV4 79.3 38.0
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏 −11
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注4)
内面粗糙度 Ra max 0.4µm(可选项:0.25µm)
配管连接方式 面密封接头、焊接管
方式 SPDT(3芯、2位)
额定电压(容量) 最大DC30V(最大3W)
舌簧开关 开闭电流 最大0.2A
通电电流 最大0.5A
初期接触阻抗 0.1Ω以下
导线 AWG24(PVC外皮)
电缆长度 3m
电缆 蓝: COM
颜色(导线) 棕: N.C.
黑: N.O.
内部容积 1.9cm 3
重量 0.11kg 注5)
注1)检测流量受温度变化的影响。(±2%以内)
注2)为 N2气体在0.69MPa时的值。使用其他的压力或气体时,请参见选定注意事项(P.160)。
注3)为检测流量流过时的值。
注4)在 氦气体进口侧压力3.5MPa下测定。
注5)重量是大致值,随配管连接方式和可选项而不同。
接触气体部材质
材质记号 S
阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光+钝化处理
浮子 SUS316L
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