Page 154 - 21-工艺气体元件（特气阀）

真空发生器 组件 真空发生器/组件 AP71 系列

AP71 系列

● 真空发生器+气控阀+单向阀 结构图 外形尺寸图
一体化的紧凑设计
最高真空压力 −88kPa AP71 AP71
●
● 搭载常断型气控阀
● 对应常泄功能可选项。
流过少量的N2，让排气气路保持惰性状态。 排气
型号表示方法 RoHS
排气口
（进口侧） （排气侧） （真空侧）
AP71 S MV4 FV6 TW4

B
材质 常泄机能可选项 真空口
记号 阀体材质 记号 常泄流量
S SUS316L 无记号 无常泄功能（标准） 真空
CB005 2.5L/min（nor） 真空发生器文丘里管
CB009 5L/min（nor） 弹簧 26.7
CB013 8L/min（nor） （用于驱动活塞）
CB023 15L/min（nor）
驱动活塞 A
配管连接方式（进口侧N2通口、排气侧、真空侧） 22.1
弹簧
记号 配管连接方式 进口侧 排气侧 真空侧 （用于单向阀）
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） ● ● ●
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） ● ●
TW4 1/4焊接管 ● 单向阀 气控阀 C N2进口
操作口
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） ●
FV6 3/8面密封接头（内螺纹） ● 常泄单向阀芯
TW6 3/8焊接管 ● （可选项）
常泄孔口 N2输入口 （mm） （mm） （mm）
（可选项） 配管连接方式 A 配管连接方式 B 配管连接方式 C
（进口侧） （排气侧） （真空侧）
规格 MV4 36.3 MV4 MV4
FV4 27.2 FV4 35.3
形式 AP71 MV6 41.7 TW4 19.1
使用流体（进口侧N2通口） 氮气 FV6
使用流体（真空侧） 不腐蚀接触气体部材质的流体 TW6 24.4
进口侧N2通口压力范围 0.48~0.76MPa
真空侧最大压力 24.1MPa
保证耐压力（真空侧） 最大使用压力的1.5倍
破坏压力（真空侧） 最大使用压力的3倍
最高真空压力 −88kPa 注1）
环境温度及使用流体温度 −10~71℃
开启压力（单向阀） 0.023MPa 注2） 排气特性图 流量特性图
阀功能 常闭型（N.C.）
气控阀 操作压力 0.4~0.76MPa
操作通口连接口径 M5×0.8（10−32UNF也可使用） AP71 AP71
进口侧 1/4面密封接头（外螺纹） -100 100 -100
配管连接方式 排气侧 1/4、3/8面密封接头、3/8焊接管 -90 真空压力 -90
真空侧 1/4面密封接头、焊接管
重量 0.14kg 注3） -80 90 -80
注1）进口侧压力0.55MPa、消耗流量60L/min（nor）时的值。 -70 （nor）） -70
注2）开启压力是代表值，随应用及使用条件而变化。
注3）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 （kPa） -60 80 （L/min （kPa） -60
-50
-50
可选项规格 接触气体部材质 真空压力 -40 N2消耗流量 70 真空压力 -40
常泄功能 -30 N2消耗流量 -30
排气侧的气路需要一直保持惰性状态时， 型号 AP71 -20 60 -20
可随时进行N2清除的功能。 阀体 SUS316L
可从下面4种孔口选择。 阀芯 SUS303 -10 -10
可选项记号 常泄流量 注） 活塞 SUS303 0 50 0
CB005 1~2.5L/min（nor） 弹簧 SUS302 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 5 10 15 20
CB009 2~5L/min（nor） 单向阀阀座 Viton ® 进口侧压力（MPa） 排气流量（L/min（nor））
CB013 5~8L/min（nor） 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
CB023 10~15L/min（nor）
注）N2氮气在0.55MPa时的值。

Viton ® 、氯丁橡胶 ® 是Dupont的注册商标。
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