Page 156 - 21-工艺气体元件（特气阀）

真空发生器 组件 真空发生器/组件 AP72 系列

AP72 系列

● 真空口发生器+隔膜阀+单向阀 可选项规格 材质
一体化的紧凑设计
最高真空口压力 −88kPa 常泄功能
● 排气侧的气路需要一直保持惰性状态时， 材质记号 S
● 隔膜阀可选择气控型或手动型 可随时进行N2清除的功能。 阀体 SUS316L
● 对应常泄功能可选项。 可从下面3种孔口选择。 表面处理 电解抛光+钝化处理
流过少量的N2，让排气气路保持不活性状态。 可选项记号 常泄流量 注） 膜片 Elgiloy ®
CB009 2~5L/min（nor） 隔膜阀阀座 PCTFE（可选项: Vespel ® ）
5~8L/min（nor）
型号表示方法 RoHS CB013 10~15L/min（nor） 单向阀阀座 Viton ®
CB023
（进口侧） （排气侧） （真空侧e） （真空侧r） 注）N2氮气在0.55MPa时的值。
AP72 625 S 3PW MV4 FV6 TW4 外形尺寸图

材质 隔膜阀阀座材质 AP72 R（操作半径）
记号 阀体材质 记号 材质
S SUS316L 无记号 PCTFE（标准） 真空
VS Vespel ®
通口数（参见通口位置）
记号 通口数 C
3PW 3通口
3PWA 3通口（角型） 常泄机能可选项 排气 H
4PW 4通口 记号 常泄流量
形式 无记号 无常泄功能（标准） 进口
记号 动作方式 手轮规格 CB009 5L/min（nor）
540 — CB013 8L/min（nor） 11.7
550 气控型 CB023 15L/min（nor）
600 圆柱手轮、多圈 B A
625 手动型 杠杆手轮、1/4圈 11.2
650 圆柱手轮、1/4圈、带开闭指示窗 配管连接方式 上方图 侧面图
通口位置 （进口侧N2通口、排气侧、真空侧e、真空侧r） （mm）
记号 配管连接方式 进口侧 排气侧 真空侧e 真空侧r 型号 R H 2.5
真空口 真空口 AP72540
3PW e 3PWA 4PW r MV4 1/4面密封接头（外螺纹） ● ● ● ● 18.5 88.6 18
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） ● ● ● ● AP72550 17.4 83.3 46.7
TW4 1/4焊接管 ● ● AP72600 26.9 67.1
排气口 q 排气口 q 排气口 q
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） ● AP72625 37.6 74.7 排气
w 进口 w 进口 w 进口 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） ● AP72650 23.9 76.7
TW6 3/8焊接管 ● （mm） （mm） （mm）
e e 18 28.4
真空口 真空口 注）仅在选择通口“4PW”时，请在真空侧r指定配管连接方式。 配管连接方式 A 配管连接方式 B 配管连接方式 C 入口
（进口侧） （排气侧） （真空侧）
共通规格 MV4 MV4 MV4 真空 2×M5×0.8 深6.4
FV4 35.3 FV4 53.6 FV4 35.3 25.4 （10-32UNF也可使用）
形式 AP72540 AP72550 AP72600 AP72625 AP72650 MV6 67.3 TW4 26.9
使用流体（进口侧N2通口） 氮气 FV6
使用流体（真空侧） 不腐蚀接触气体部材质的流体 TW6 52.0 底面图
进口侧N2通口压力范围 0.48~0.76MPa
真空侧最高压力 20.7MPa
耐压试验压力（真空侧） 最大使用压力的1.5倍 排气特性图 流量特性图
破坏压力（真空侧） 最大使用压力的3倍
最高真空压力 −88kPa 注1） AP72 AP72
环境温度及使用流体温度 −10~71℃ -100 90 -100
开启压力（单向阀） 0.023MPa 注2） 真空压力
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s -90 -90
外部泄漏 −10
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注3） -80 80 -80
−9
3
内部泄漏 4×10 Pa · m /s 注4）
进口侧 1/4面密封接头 -70 （nor）） -70
配管连接方式 排气侧 1/4、3/8面密封接头、3/8焊接管 （kPa） -60 70 （kPa） -60
真空侧 1/4面密封接头、1/4焊接管 N2消耗流量 （L/min
重量 0.82kg 注5） -50 -50
注1）进口侧压力0.55MPa、消耗流量60L/min（nor）时的值。 真空压力 -40 60 真空压力 -40
注2）开启压力是代表值，随应用及使用条件而变化。 -30 N2消耗流量 -30
注3）用钟罩法（氦气进口侧压力1.7MPa、AP72540为0.9MPa）测定。
注4）在 氦气体进口侧压力1.7MPa（AP72540为0.9MPa）下测定。 -20 50 -20
注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。
-10 -10
气控阀规格 手动阀规格 0 40 0
0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 5 10 15 20 25 30
型号 AP72540 AP72550 型号 AP72600 AP72625 AP72650 进口侧压力（MPa） 排气流量（L/min（nor））
阀功能 常闭型（N.C.） 圆柱手轮 注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
操作压力 0.48~0.76MPa 手轮规格 圆柱手轮 杠杆手轮 1/4圈型
1/4圈型
多圈型
操作通口连接口径 NPT1/8 M5×0.8（10-32UNF也可使用） 带开闭指示窗
操作通口位置 上面 侧面
Elgiloy ® 是Elgiloy Specialty Metals公司注册商标。Vespel ® 、Viton ® 是Dupont公司的注册商标。
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