Page 160 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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流量开关                                                                   大流量                                                                                                          流量开关/大流量 AP74B                  系列


            AP74B           系列


          ● 采用旁路方式,可实现BSGS供给等的大流量应用                                                                                             接触气体部材质
          ● 检测流量在225~2600L/min(nor)间有7个品种
          ● 安装方向(水平或垂直)可选择                                                                                                              材质记号                       S
          ● 配管尺寸有1/2及3/4英寸                                                                                                              阀体                       SUS316L
                                                                                                                                        表面处理                 电解抛光+钝化处理
                                                                                                                                        浮子                       SUS316L
                                                                                                                                        金属垫圈                      镍200
                                                     型号表示方法                                             RoHS
                                                                                                                                外形尺寸图
                                                                    (进口侧)    (出口侧)
                              AP74B V 500                 S M FV8 MV8                                                           AP74B
                                                                                                                                                                                   C
                          安装方向
                       记号  安装方向
                        H  水平配管                  大小              内面粗糙度
                        V  垂直配管       记号    检测流量  注)            记号  表面粗糙度Ra max
                                      225  225L/min(nor)         M    0.25µm
                                      350  350L/min(nor)
                                      500  500L/min(nor)    材质
                                      950  950L/min(nor)
                注)为N2氮气在0.69MPa时的                          记号   阀体材质
                   值。使用其他的压力或气        1100  1100L/min(nor)  S   SUS316L
                   体时,请参见选定注意事        1650  1650L/min(nor)                                                                                       B
                   项(P.160)。          2600  2600L/min(nor)

         安装方向                                           配管连接方式(进口侧、出口侧)
                                                                                                大小                                                                                                                进口
            AP74BH  水平配管        AP74BV  垂直配管            记号         配管连接方式
                                                                                   225  350  500  950 1100  1650 2600
                                                        MV8     1/2面密封接头(外螺纹)       ●   ●   ●   ●
                                                        FV8     1/2面密封接头(内螺纹)       ●   ●   ●   ●
                                                        TW8         1/2焊接管          ●   ●   ●   ●
                                                       MV12    3/4面密封接头(外螺纹)  注)                     ●   ●   ●                                                        A                          A
                                                       FV12    3/4面密封接头(内螺纹)  注)                     ●   ●   ●
                                                       TW12         3/4焊接管                           ●   ●   ●
                                                       注)请准备一个符合用途的额定电压的配接头。                                                                                    (mm)
                                                                                                                                                       B
                                                                                                                                 配管连接方式       A                  C
                                                                                                                                                 水平配管 垂直配管
                                                                                                                                    MV8        90.2
                                                                                                                                    FV8            115.6  68.6
                                                                                                                                    TW8       65.8
         规格                                                                                                                        MV12                         77.5
                                                                                                                                    FV12    140.0  138.2  91.2
                                                                                                                                   TW12       89.7
                  形式            AP74Bm225   AP74Bm350  AP74Bm500   AP74Bm950 AP74Bm1100 AP74Bm1650 AP74Bm2600
         使用流体                                                 不腐蚀接触气体部材质的流体
         使用压力范围                                  真空~24.1MPa                              真空~20.7MPa
         检测流量  注1)注2)           225L/min(nor) 350L/min(nor) 500L/min(nor) 950L/min(nor) 1100L/min(nor) 1650L/min(nor) 2600L/min(nor)
         精度                                                       检测流量的±20%                                                           选定注意事项
         耐压试验压力                                                  最大使用压力的1.5倍                                                      规格的检测流量为N2气体在0.69MPa时的值。
         破坏压力                                                    最大使用压力的3倍                                                        压力条件或气体不同的场合,按下式算出换算因子Fp和Fg,
         环境温度及使用流体温度                                            −23~80℃(但未冻结)                                                     乘以Fp及Fg后的值,就是在该条件下的检测流量。
                                                                           3
                 向内泄漏                                             2×10 −11 Pa · m /s
         外部泄漏
               向外泄漏                                               2×10 −11 Pa · m /s                                              1. 压力条件的变更                            2. 气体的变更
                                                                           3
         内面粗糙度                                                    Ra max 0.25µm
         配管连接方式                                1/2面密封接头、焊接管                            3/4面密封接头、焊接管                                    Fp=     OP                            Fg=     28
         压力损失                                                      0.0034MPa 注3)                                                              0.79                                   MW
                 方式                                                SPDT、3芯/2位
                 额定电压(容量)                                         DC30V(最大3W)                                                        OP:使用压力(绝对压力)MPa(abs)                 MW:使用气体的分子量
         舌簧开关             开闭电流                                       最大0.2A
                 通电电流                                                最大0.5A                                                       例)氢气(分子量2)、0.5MPa下使用的场合
                 初期接触阻抗                                             最大0.1Ω
              导线                                                 AWG24(PVC外皮)                                                     1. 按压力条件的变更算出Fp                       2. 按气体品种的变更算出Fg
              电缆长度                                                     3m
         电缆                                                          蓝: COM                                                            Fp=   (0.5+0.1)  = 0.871              Fg=    28  = 3.742
              颜色(导线)                                                 棕: N.C.                                                                     0.79                                2
                                                                     黑: N.O.
         重量                                                         0.56kg 注4)                                                    因此,检测流量用10L/min(nor)型(AP74010Sm)的场合,按此使用条件,检测流量为
         注1)检测流量受温度变化的影响。(±2%以内)                                                                                                  10(L/min(nor))×0.871×3.742=32.6(L/min(nor))。
         注2)为 N2气在0.69MPa时的值。使用其他的压力或气体时,请参见选定注意事项(P.160)。
         注3)为检测流量流过时的值。
         注4)重量是大致值,随配管连接方式和可选项而不同。
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