Page 164 - 21-工艺气体元件（特气阀）

工艺气体元件/流量开关单独注意事项

使用前请务必阅读。安全注意事项请参考封底，工艺气体元件的共同注意事项请由 P.166、167
及《使用说明书》确认。
https://www.smc.com.cn 技术资料：术语解说

【隔膜阀】
选定 配线 1. 关于用途 由于金属膜片的上下动作，进行流路的开闭，作为气体的切断

警告 警告 【工艺气体】 阀使用。
由于膜片为圆顶型且有弹性，接触气体部上没有弹簧，另外，
在半导体和太阳能电池等的制造工艺中，晶片处理等所使用的
q请确认规格。 u配管及配线后，请流过氮气进行开关动作确认。 惰性气体和特殊气体等的总称。 驱动部也用膜片与接触气体部隔离，所以流路的死区小，是难
以产生微粒的结构。
本产品在气体供给系统上，用于流量在设定值以上时，触点信 请确认流过检测流量以上的氮气时，开关动作，流量被切断时， 【特殊气体】 【LOTO】
号的输出。关于元件的选定，请在确认使用流体、使用压力、 则开关复位。 特殊气体，主要是用气体钢瓶供给的气体的总称，表示这些气体 是上锁贴标的记号，在工厂为保护作业者的安全而使用。
使用流量、使用温度范围等的基础上，在本样本上记载的规格 有毒性、可燃性、阻燃性、不燃性、自燃性、腐蚀性的性质。
所谓上锁，指切断装置上供给的气体的流动，用锁等固定使其
范围内使用。特殊的气体、特别的用途和环境下，有不能使用 使用环境 【大宗气体】 不能作业，所谓贴标指在操作元件上安装警告标记，以防止由
的情况。对使用流体， 产品构成材料是否适合，要确认。 在工厂，被大量消耗的氮气和氩气等气体，像液态氮这样的液 于误操作等引起的事故。
请在理解使用流体的特性后，进行系统的设计、元件的选定。 化气搬运，用蒸发器气化供给。
警告 【清除通口】
w请确认产品的检测流量。 【高纯度工艺气体适用】 进口侧或出口侧配管通口上焊接的用于清除的通口，如在配管
q请勿在产生磁场的场所使用，以免误动作。
检测流量为固定值。请选定适合目的流量的检测流量型号。型号 用于半导体产业等要求气体洁净度非常高的产业。阀体材质使 施工时和维修时，在阀关闭状态下清除时使用。
用SUS316L二次熔练或SUS316L，具有接触气体部电解抛光处
表示方法所示的检出流量，为流体氮气、进口侧压力0.69MPa时 【单向阀】
理、外部金属密封等特长。
的值。使用除此以外的压力或气体时，请利用换算公式求出检 维护点检 阀体由于流体的背压，可防止逆流。AP64系列是内部可动件仅
测流量。 【一般气体适用】 有O形圈的简单结构，没有阀芯及弹簧的结构，所以没有零件
警告 用于激光加工、分析、医疗等不要求供给气体洁净度高的产业。 的振动和颤振等，不会产生微粒，不用担心下游侧的压力变动。
阀体材质可选择SUS316或黄铜。 【真空发生器】
安装 q流量开关不能修理。 【一次侧高压适用】 让气体从孔口高速喷射，孔口周围的流体被吸引，利用其压力
AP74及AP74B是焊接结构，通常情况下，若在产品内部发生问 在气瓶柜和钢瓶总管等上，让钢瓶压减压至气路压时使用的 下降的现象而产生真空的元件。
注意 题，则不能修理。 元件。 更换钢瓶时，用于排出配管中残余不要的气体等。
q产品不得跌落、敲打。 【气路适用】 AP71、AP72系列为装有阀和单向阀功能的组件型。
跌落、敲打或受过大的冲击，会成为开关破损、故障、误动作 使用注意事项 分配箱（VMB）等的气体分配箱和装置等，设置在一次侧高压用 【常泄功能】
减压阀的下游侧，用于气路压压力调整。
的原因。 AP71、AP72系列，即使阀关闭，通过孔口也可以使一定流量
w请确认产品的安装方向。 警告 【大宗气体适用】 的N2清除气体在排气气路流动的结构，排气气路要求一直保持
惰性状态时使用。
产品标牌上有箭头表示。另外，AP74B系列旁通气路的检测部 q第1次向系统加压时，到系统上充满气体为止，可能会有 大宗气体和BSGS（大宗特殊气体系统）等，消耗大量气体的气路 【流量开关】
上使用的元件。
上也有箭头表示。箭头的方向是从进口侧向出口侧的流体的流 过大的流量流过而引起开关动作。 【负压调整适用】 对设定流量感知过剩流量的传感器，用于检测由于配管破断等
动方向，请在确认安装方向后，按正确方向设置。 请确认在系统充满气体后开关即复位。
例如在低蒸气压气体等的使用中，将减压阀的出口侧调整为负 导致的过剩流量。
e请垂直设置使产品进口侧向下，流体从下向上流动。 如果系统充满气体后开关未复位，则停止供气并检查系统是否 压时使用的元件。 AP74、AP74B系列没有流量指示功能。
泄露。
AP74系列，流体从下方朝上方流动，应相对垂直方向8°以内设 2. 关于产品 3. 关于材质
置，以使流体从下向上流动。AP74B系列旁通气路的检测部表
示的箭头应向上，箭头应相对相垂直方向8°以内设置。 【减压阀】 【SUS316】
让一次侧压力降压，二次侧压力保持稳定的调整阀。 奥氏体不锈钢，增加了镍含量并添加了钼的耐腐蚀性高的材料。
AP、SL、AZ、AK系列为直动式非溢流型的减压阀，采用金属 【SUS316L】
配线 膜片，适合工艺气体。
SUS316的低碳钢，具有比SUS316更好的耐晶间腐蚀性。
警告 【一段式和二段式】 【SUS316L二次熔炼】
一段式减压阀通过调节弹簧和气体压力的平衡而动作，所以进
q导线上不得施加反复的弯曲力及拉伸力。 口侧压力变动时，出口侧压力随之变动。 相比通常的SUS316L，材料中含有的不纯物成分降至极限的高
品位材料。
二段式减压阀是一种将2台一段式减压阀串连使用的结构，将
若导线上施加反复弯曲力及拉伸力，会造成断线。 APTech的材料符合SEMI标准F20的UHP等级。
进口侧压力减压至中间压力，进而减压至设定压力，因此能够
®
w请勿与动力线和高压线使用同一配线路径。 抑制进口侧压力变动引起的出口侧压力变动，提高了压力特性。 【赫氏合金 】 是Haynes International公司的注册商标。
请避免与动力线、高压线并行配线或使用同一配线路径。与动 【膜片阀芯一体结构】 镍–铬–钼系合金，有优良的耐蚀性。
®
力线和高压线接近的场合，由于噪声，有误动作的可能性。 膜片阀芯相连接的结构，由于加在膜片上的二次侧压力将阀芯 【Elgiloy 】 是Elgiloy Specialty Metals公司注册商标。
e请确认配线上的绝缘性。 可靠地压在阀座上，可防止异物等的咬入引起的阀芯泄漏。 钴–铬–镍的合金，有优良的耐蚀性和超弹性。作为隔膜阀的膜
在配线上，应注意不要绝缘不良(与其他回路接触、端子间绝缘 【无弹簧结构】 片材质使用。
不良等)。流量开关上流过过电流，会造成破损。 接触气体部没有弹簧的结构。与膜片阀芯一体结构一样，膜片 【PCTFE】
与阀芯相连接，没有阀芯弹簧。 聚氯三氟乙烯。是一种透明度高、硬度高的氟树脂，有优良的
r请勿误配线。
【背压阀】 低温特性。作为减压阀和隔膜阀的标准阀座材料使用。
常闭触点配线的场合，请使用棕色和蓝色的信号线。常开触点
是保持进口侧压力稳定的调整阀，一旦进口侧达到设定压力以 【PTFE】
配线的场合，请使用黑色和蓝色的信号线。
上，则通过调整阀，将多余的压力从出口侧逸出，以保持压力 PTFE是一种完全氟化的树脂，具有化学惰性。与PCTFE相比，
t配线作业应在电源OFF的状态下进行。 的稳定。 具有相同或更好的耐化学品性。PCTFE可选择作为减压阀
AP500、AP, AZ＆AK1000、AP＆AZ1100、AZ＆AK1300的一种
y请务必连接负载后再接通电源。
阀座材料。这些减压阀作为工艺工具使用时，推荐选择PTFE阀座。
负载未连接(负载短路)的状态下，电源一旦接通，由于过电流，
开关会破损。
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