Page 166 - 21-工艺气体元件（特气阀）

技术资料：术语解说

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【Vespel 】是Dupont公司的注册商标。 【向内泄漏】
超耐热性塑料（聚酰亚胺树脂）。耐热性和耐摩擦性优良。作为 产品内部压力比外部压力低时引起的从产品外部向内部的泄漏
一种使用高温规格、N2O、CO2等特定气体时的阀座材料，供 量。测定时，让产品内部为真空，从外部吹氦气，检测侵入内
您选择。 部的氦气。测定方法符号SEMI标准F1。
【PEEK】 【向外泄漏】
聚醚醚酮。作为热可塑性树脂，有非常高的耐热性。另外，耐 产品内部压力比外部压力高时引起的从产品内部向外部的泄漏
疲劳性和耐化学品性也优良。作为一种减压阀的阀座材料，供 量。测定时让产品内部充入氦气，检测向外部泄漏的氦气。测
您选择。 定方法符号SEMI标准F1。另外，样本上记载的向外泄漏的值，
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【Viton 】是Dupont公司的注册商标。 是用钟罩法测定时的值。
氟橡胶（FKM）。耐热性、耐化学品性优良。 【内部泄漏】
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【Kalrey 】是Dupont公司的注册商标。 在产品内部的阀座部的泄漏量。测定方法符号SEMI标准F1。
高氟橡胶（FFKM）。具有比氟橡胶（FKM）更优良的耐热性、耐 另外，样本上记载的减压阀的内部泄漏值，是用钟罩法测定时
的值。
化学品性。
【钟罩法】
4. 关于表面处理 一种泄漏试验方法，将封入氦气的试验体放入钟罩（真空容器）内，
【电解抛光】 将钟罩连接泄漏检测器，检测从试验体向钟罩内漏出的氦气的方
让金属件在电解液中浸湿通电，使表面变得平滑、有光泽的处理方法。 法。
【SEMI标准】
【钝化处理】
让金属件在硝酸等的处理液中浸湿，表面上形成不动态膜（钝 国际半导体产业协会（SEMI）发布的自主标准。国际半导体产业
协会（SEMI）由提供半导体、平板显示、超精密技术、MEMS、
化膜）的方法，耐蚀性提高。
太阳能发电、其他相关技术的制造装置、材料、相关服务的企
5. 配管连接方式 业组成。
【面密封接头】
在套管的前端上设置金属垫圈，随螺母的拧入，形成密封的接
头。从真空到正压都具有较高的密封性。
【焊接管】
气动元件配管时，不使用接头而直接在配管上焊接的形式。
【卡套接头】
卡套式管接头，由于螺母的拧入，使用套圈2重压紧，让套圈
咬紧配管进行连接。
【NPT】
美国的管用锥螺纹标准。
6. 关于规格
【内面粗糙度 Ra】
表示阀体内表面（接触气体部）的表面粗糙度。Ra是算术平均
粗糙度，在基准长度中表面形状的峰与谷的平均值。Ra max
是在任意的部分，多个算术平均粗糙度Ra测定值中的最大的
测定值。
【Cv值】
阀具有的容量系数，表示15.6℃的水在一定压差下，流过阀时
的流量数值。计算出方法符合SEMI标准F32。另外，减压阀为
全开状态时的值。
【开启压力】
在单向阀中压力上升，阀开始打开，确认有一定流量时的压力。
【最高真空压力】
真空发生器产生的真空压力的最大值。
【L/min（nor）】
气体标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
【压力特性】
在减压阀的供给压力一定的状态下，将设定压力（出口压力）设
定为某一数值后，随供给压力的变化，所产生的出口压力的变
化量。

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