Page 159 - 21-工艺气体元件（特气阀）

流量开关 流量开关 AP74 系列

AP74 系列

● 检测流量在2~100L/min（nor）间有6个品种 外形尺寸图
● 阀体材质 SUS316L二次熔炼 推荐品种
● 对应高压（Max.24.1MPa） AP74
● 一旦超过检测流量，内置磁石的浮子动作，舌簧开关
（SPDT、3芯/2位）有反应。
由N.C.或N.O.触点输出可检测 出口
减压阀
型号表示方法 RoHS
C
（进口侧） （出口侧）
AP74 100 S MV4 MV4
AP
A 25.4
大小
记号 检测流量 注） SL
002 2L/min（nor） 配管连接方式（进口侧、出口侧）
记号
005 5L/min（nor） MV4 配管连接方式 AZ
010 10L/min（nor） 1/4面密封接头（外螺纹） B
注）为N2氮气在0.69MPa时的 025 25L/min（nor） FV4 1/4面密封接头（内螺纹） AK
值。使用其他的压力或气 TW4 1/4焊接管
体时，请参见选定注意事 050 50L/min（nor） 9.4
项（P.160）。 100 100L/min（nor） 内面粗糙度 进口 BP
记号 表面粗糙度Ra max
材质 无记号 0.4µm（标准） 19.1 22
M
记号 阀体材质 0.25µm 隔膜阀
S SUS316L二次熔炼

规格
（mm）
形式 AP74002 AP74005 AP74010 AP74025 AP74050 AP74100 配管连接方式 A B C
使用流体 不腐蚀接触气体部材质的流体 MV4, MV4 57.2 15.9 15.9
使用压力范围 真空~24.1MPa FV4, FV4 101.4 38.0 38.0
检测流量 注1）注2） 2L/min（nor） 5L/min（nor） 10L/min（nor） 25L/min（nor） 50L/min（nor） 100L/min（nor） TW4, TW4 57.2 15.9
精度 检测流量的±10%或0.5L/min（nor）中的较大值 MV4, FV4 79.3 15.9 38.0 单向阀
安装方向 进口侧向下且纵向（相对垂直8°以内） MV4, TW4 57.2
压力损失 0.0034MPa 注3） FV4, MV4 79.3 38.0 15.9
耐压试验压力 最大使用压力的1.5倍 FV4, TW4
破坏压力 最大使用压力的3倍 TW4, MV4 57.2 15.9
环境温度及使用流体温度 −23~80℃（但未冻结） TW4, FV4 79.3 38.0
3
向内泄漏 2×10 −11 Pa · m /s
外部泄漏 −11
3
向外泄漏 2×10 Pa · m /s 注4）
内面粗糙度 Ra max 0.4µm（可选项：0.25µm） 真空发生器
配管连接方式 面密封接头、焊接管
方式 SPDT（3芯、2位）
额定电压（容量） 最大DC30V（最大3W）
舌簧开关 开闭电流 最大0.2A
通电电流 最大0.5A
初期接触阻抗 0.1Ω以下
导线 AWG24（PVC外皮）
电缆长度 3m
电缆 蓝: COM
颜色（导线） 棕: N.C. 流量开关流量开关
黑: N.O.
内部容积 1.9cm 3
重量 0.11kg 注5）
注1）检测流量受温度变化的影响。（±2%以内）
注2）为 N2气体在0.69MPa时的值。使用其他的压力或气体时，请参见选定注意事项（P.160）。
注3）为检测流量流过时的值。
注4）在 氦气体进口侧压力3.5MPa下测定。 术语解说 技术资料
注5）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。

接触气体部材质
共同注意事项
材质记号 S
阀体 SUS316L二次熔炼
表面处理 电解抛光+钝化处理
浮子 SUS316L
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