Page 152 - 21-工艺气体元件（特气阀）

真空发生器 真空发生器 AP7 70 系列
、

AP7、 70 系列

最高真空压力 −88kPa 外形尺寸图
●
● AP70系列 AP7 AP70
小型 配管连接方式 （mm）
●
排气特性优良 （进口侧） A
●
● AP7系列 排气 MV4 41.1
全部通口可选择接头规格 FV4
●
TW4 31.8
型号表示方法 RoHS MV6 54.1 1.8 排气
FV6
（进口侧） （排气侧） （真空侧） B TW6 31.8
AP 70 S MV4 MV6 FV4 OUT （mm）
真空 配管连接方式 B 真空
（排气侧）
形式 配管连接方式（真空侧） IN MV4 46.5 50.8
记号 特长 记号 配管连接方式 FV4
70 小型 · 高性能 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） TW4 37.1 23.6
FV4 1/4面密封接头（内螺纹） A MV6
材质 TW4 FV6 59.4
记号 阀体材质 MV6 1/4焊接管 TW6 37.1 N2进口
S SUS316L FV6 3/8面密封接头（外螺纹） （mm） D （mm）
3/8面密封接头（内螺纹）
TW6 3/8焊接管 配管连接方式 配管连接方式
（真空侧） C （真空侧） D
配管连接方式（排气侧） MV4 30.0 MV4 33.3
记号 配管连接方式 N2进口 C FV4 FV4
MV6 3/8面密封接头（外螺纹） TW4 20.6 TW4 24.6
MV6 MV6
配管连接方式（进口侧N2通口） FV6 42.9 FV6 47.0
记号 配管连接方式 TW6 20.6 TW6 24.6
MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 排气特性图
AP7 AP70
（进口侧） （排气侧） （真空侧）
AP 7 S 3PW MV4 MV6 FV4 -100 真空压力 90 -100 真空压力 90
-90
-90
-80 80 -80 80
形式
记号 特长 -70 （nor）） -70 （nor））
7 可选择接头规格 配管连接方式（进口侧N2通口、排气侧、真空侧） （kPa） -60 70 （kPa） -60 70
材质 记号 配管连接方式 -50 （L/min -50 （L/min
记号 阀体材质 MV4 1/4面密封接头（外螺纹） 真空压力 N2消耗流量 真空压力 N2消耗流量
S SUS316L FV4 1/4面密封接头（内螺纹） -40 60 -40 60
TW4 1/4焊接管 N2消耗流量 N2消耗流量
通口数 MV6 3/8面密封接头（外螺纹） -30 -30
记号 通口数 FV6 3/8面密封接头（内螺纹） -20 50 -20 50
3PW 3通口 TW6 3/8焊接管 -10 -10
0 40 0 40
规格 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
进口侧压力（MPa） 进口侧压力（MPa）
型号 AP7 AP70 流量特性图
使用流体（进口侧N2通口） 氮气
使用流体（真空侧） 不腐蚀接触气体部材质的流体 AP7 AP70
进口侧N2通口压力范围 0.48~0.76MPa
真空侧最大压力 24.1MPa -100 -100
耐压试验压力（真空侧） 最大使用压力的1.5倍 -90 -90
破坏压力（真空侧） 最大使用压力的3倍 -80 -80
最高真空压力 −88kPa 注1）
环境温度及使用流体温度 −40~71℃ -70 -70
进口侧 面密封接头、焊接管 1/4面密封接头（外螺纹） （kPa） -60 （kPa） -60
配管连接方式 排气侧 面密封接头、焊接管 3/8面密封接头（外螺纹）
真空侧 面密封接头、焊接管 -50 -50
重量 0.11kg 注2） 0.13kg 注2） 真空压力 -40 真空压力 -40
注1）进口侧压力0.55MPa、消耗流量60L/min（nor）时的值。
注2）重量是大致值，随配管连接方式和可选项而不同。 -30 -30
-20 -20
接触气体部材质 -10 -10

0 0
材质记号 S 0 5 10 15 20 25 30 0 5 10 15 20 25 30
阀体 SUS316L 排气流量（L/min（nor）） 排气流量（L/min（nor））
注）“L/min（nor）, N2”表示流过N2气体时在标准状态（0℃, 1atm）下的体积流量。
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