Page 3 - 21-工艺气体元件（特气阀）

减压阀 减压阀

高纯度工艺气体适用 高纯度工艺气体适用

适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。 适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。
〈气控式〉
〈气控式〉

AP1400T
AP1600/AP1900
AP10PA/AP15PA AP12PA/AP14PAT AZ10PA/AZ15PA AZ12PA/AZ14PAT

APlPA 系列 AZlPA 系列
APlPA 系列
AZlPA 系列
P.91~98 P.99~106
AP1700

一般气体适用
AP9000
可广泛应用到半导体产业和一般产业的标准型。

AP1200

AP 系列
AP2700 AP 系列 AP500
P.29~50 AP1000/AP1100/AP1500

AK1200/
AK1300/
AK1400T BP1000
AK1700
AK1000/AK1500 AK9200 背压阀
AK 系列 BP 系列
BP 系列
AK 系列
P.73~86 P.87、88

〈气控式〉
SL5400/SL5800 〈气控式〉
SL 系列
SL 系列
SL5500 P.51~58 SL5200

BP1000

背压阀
BP 系列
BP 系列
AZ1000/AZ1100/AZ1500 AK10PA/AK15PA AK12PA/AK14PAT
P.89、90
AZ 系列 AKlPA 系列
AKlPA 系列
AZ 系列
AZ1200/AZ1300/AZ1400T P.59~72 AZ9200 P.107~114
2