Page 4 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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隔膜阀
产品系列体系
高纯度工艺气体适用
高纯度工艺气体适用
适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。 ●标准 ○可选择型号或可选项
AP 系列 AZ 系列 AK 系列
AP3800
用途 高纯度工艺气体适用（UHP） 一般气体适用
AP3700
AP3100
SUS316L ●SUS316
阀体材质 SUS316L
二次熔炼 ○黄铜
AP3900
AP3000/AP3200
AP3130
AP3600/AP4600/AP3260 AP3150 内表面处理 电解抛光+钝化处理 纯化处理
AP3650/AP4650
Ra max Ra
AP3540/AP4540 ●0.4 µm ●0.25 µm
AP3550/AP4550 内表面粗糙度 ○0.25 µm ○0.62 µm ※1)
µm
●0.18 µm
AP3657/AP4657 ○0.13 µm
AP3125
气控型 手动型
AP 系列 AP3625/AP4625 AP 系列
系列
AP
系列
AP
P.121~134 AP3571/AP4571 P.135~144 接合 焊接型 螺纹拧入型
配管连接方式 ●面密封接头 ●NPT
接头
○焊接管 ○卡套接头
单向阀 真空发生器 流量开关
洁净室组装 ● ●
AP72
N2 检查 ● ● ●
AP64
AP7
AP74B
AP70 AP71 AP74 氦泄漏检查 ● ●
AP64 系列 AP7,70/71/72 系列 AP74/74B 系列
系列
系列
系列
AP64
AP7,70/71/72
AP74/74B
P.149、150 P.151~156 P.157~160 ※1) 有些产品可能无法选择。
●技术资料：术语解说…………………………………………………………………………P.164、165
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