Page 8 - 21-工艺气体元件（特气阀）

减压阀 AZ 系列

用途 结构 材质
系列 一次侧 膜片阀芯 内部 最高进口侧压力
MPa
气路 高压 一体 无弹簧 阀体 ※1） 赫氏合金 ®
2.1
AZ1000 V g v 24.1

AZ1100 V V ※3) v 2.1

AZ1500 V V v 24.1
一段式
2.1
AZ1400T V V V 316L V 15.9
V15.9
v20.7
AZ1300 V 2.1

11.7
AZ1200 V V V v
V11.7
v20.7

AZ9200 V V 2.1

减压阀 AK 系列

用途 结构 材质 最高进口侧压力
系列 一次侧 膜片阀芯 MPa
内部
气路 高压 一体 无弹簧 阀体 ※1） 赫氏合金 ®
2.1
AK1000 V g v 24.1

AK1500 V V v 24.1

一段式 2.1
AK1400T V V V V 15.9
V316 V15.9
vB v20.7
AK1300 V 2.1

11.7
AK1200 V V V v V11.7
v20.7

AK9200 V V 2.1
二段式
AK1700 V V V316 v 24.1
vB

※1）316L: SUS316L 316: SUS316 B: 黄铜
※2）进口侧是1.0MPa时的值。流量随气体种类及压力而改变。
※3）用于低蒸气压气体的初始压力调整

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