Page 5 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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隔膜阀
高纯度工艺气体适用
高纯度工艺气体适用
适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。
AP3800
AP3700
AP3100
AP3900
AP3000/AP3200
AP3130
AP3600/AP4600/AP3260 AP3150
AP3650/AP4650
AP3540/AP4540
AP3550/AP4550
AP3657/AP4657
AP3125
气控型 手动型
系列
AP
AP
AP 系列 AP3625/AP4625 AP 系列
系列
P.121~134 AP3571/AP4571 P.135~144
单向阀 真空发生器 流量开关
AP72
AP64
AP7
AP74B
AP70 AP71 AP74
系列
系列
系列
AP64 系列 AP7,70/71/72 系列 AP74/74B 系列
AP7,70/71/72
AP64
AP74/74B
P.149、150 P.151~156 P.157~160
●技术资料：术语解说…………………………………………………………………………P.164、165
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