Page 17 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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IP8□ 系列
动作原理
IP8000／杠杆型
输入电流增大后，!3转子以!2力矩马达单元的!1板簧为支点，受到
逆时针方向的回转力矩，将r平衡块向左压，y喷嘴与t舌片分开，
喷嘴的背压下降。q先导阀的u排气阀向右移动，OUT.1的输出压
力上升，!5隔膜阀向下移动。!5隔膜阀的移动通过i反馈杆、!4传
力杆、o跨距调节杆作用于!0反馈弹簧，执行器根据输入电流控制
输出力使其在平衡位置平衡。w补偿弹簧根据u排气阀的运动反馈
于r平衡块，使整个回路稳定性更高。调零可通过改变e调零弹簧
的张力进行。
动作原理图(单作用正动作)
X
M
A
自动／手动切换
限位器螺钉 螺钉
(止动)
(内置固定节流)
隔膜阀
SUP OUT2 OUT1 灵敏度调整螺钉
:先导阀 X (增益调整螺钉)
给气阀A
给气阀B
2反馈杆
8范围调节杆
EXH. 膜片 >排气阀
;平衡块 范围调节杆轴
变更范围调节杆位置，使其处于逆
@补偿弹簧 =舌片 传力销钉 位置，即可实现逆动作。此时范围
B喷嘴 调整螺钉的头部朝上。 (请参照配
.调零弹簧 锁定螺钉 管方法图。 )
调零螺纹
传力杆
范围调节螺纹
反馈弹簧
E
板簧
力矩马达单元
电流输入端子
转子
方块图
SUP
调零弹簧
固定节流 ) (
杆行程
IN + + 喷嘴 OUT
力矩马达 隔膜 排气阀 给气阀 隔膜阀
电流 - - 舌片
补偿弹簧
反馈弹簧 范围调节杆 反馈杆
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