Page 19 - 21-工艺气体元件（特气阀）

IP8□ 系列

动作原理
IP8001／杠杆型
输入电流(DC4~20mA)增大后，经过i基板的输入处理回路、演算处
理回路、输出处理回路，输入!2力矩马达线圈的电流发生变化，!3转
子以!1板簧为支点开始摇动。同时t舌片与y喷嘴分开，喷嘴的背压
下降。
从而，q先导阀内的u排气阀向右移动，OUT1侧的压力上升，!5隔
膜阀移动。!55隔膜阀的移动通过!4反馈杆、!0反馈传动器、o角度传
感器传入i基板的变位输出处理回路，经演算处理使输入电流与输出
位置一致。

动作原理图(单作用正动作)

限位器螺钉
隔膜阀
X (止动)
M
A
自动／手动切换螺钉
(内置固定节流)
SUP OUT2 OUT1 灵敏度保持螺纹
X
:先导阀
给气阀A
给气阀B
输入电流 反馈杆
DC4~20mA

2基板
EXH. 膜片 >排气阀
;平衡块
=舌片
B喷嘴
.调零弹簧 反馈传动器
演算处理回路 输入处理回路
CPU A/D

平衡调整螺纹 输出处理回路 变位输出处理回路
D/A A/D 8角度传感器
平衡弹簧

板簧

转子

力矩马达

方块图
SUP
调整弹簧
) ( 固定节流
杆行程
IN 输入 输出 力矩马达 + 喷嘴 隔膜 排气阀 给气阀 隔膜阀 OUT
电流 处理回路 处理回路 - 舌片

演算 变位输出 角度 反馈杆
处理回路 处理回路 传感器

基板

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