Page 33 - 21-工艺气体元件（特气阀）

IP5000/5100 系列

动作原理
IP5000型 IP5000动作原理图
定位器SIG通口的输入压力增大，q风箱将w平衡杆向左压动， ݒઍՅ
该运动通过e连接弹簧将r挡板向左带动，t喷嘴与r挡板因 ࡐ୾ ੵਐۙবஅۤ
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此分开，y先导阀的喷嘴背压下降。于是，定压室内的压力失
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去平衡，!3排气阀将!4给气阀B向右压动，给气口B打开。 ޅၒ
OUT1的输出压力上升，u隔膜阀向下运动。
u隔膜阀的运动通过i反馈杆、o传递杆、!0滚轮将!1反馈臂
左右振动，该振动使!2反馈弹簧张力增大并作用于w平衡杆。 ૶থڑࣟ
u隔膜阀不断运动直至!2反馈弹簧与q风箱的力相平衡，通常
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平衡于与输入压力成一定比例的位置上。若信号气压减小，则 ڑࣟ
发生与上述过程相反的运动。 ጣ૰ۅ
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IP5100型 IP5100动作原理图
定位器SIG通口的输入压力增大，q风箱将w平衡杆向左压动， ݒઍՅ
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该运动通过e连接弹簧将r挡板向左带动，t喷嘴与r挡板因 ޅၒ ۙଭծಎ
此分开，y先导阀的喷嘴背压下降。于是，定压室内的压力失 ዡ׶
去平衡，!4排气阀将!5给气阀B向右压动，给气口B打开。 ੵਐۙবஅۤ
OUT1的输出压力上升。 ੵਐۙব ݒઍدۯഗ
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另一方面，!4排气阀向右运动使排气口A打开，从而OUT2的输 ڑࣟ ᄩۯኴႜഗ
出压力下降。于是，u摇动执行器的压力室1与压力室2产生压 ጣ૰ۅ ኴႜഗዷዡ
力差，i执行器主轴沿箭头方向回转。 ૶থڑࣟ
i执行器主轴的运动通过o反馈传动器、!0凸轮、!1轴承将!2 ཫ୾
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反馈臂左右振动，该振动使!3反馈弹簧张力增大并作用于w平
衡杆。 ڔӱ ಇഘ ፆڔ უ૰๪1 უ૰๪2
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u摇动执行器不断运动直至!3反馈弹簧与q风箱的力相平衡，
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通常平衡于与输入压力成一定比例的位置上。若信号气压减小， ߴഘ੨A
则发生与上述过程相反的运动。
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