Page 18 - 21-工艺气体元件(特气阀)
P. 18

ฏ঳ূຌ୳ႊ

                      ׂ೗ڇ܀ጀᅪ๚ၜq
                      ๑ᆩമՂ܁ă




                                               ยऺฉڦጀᅪ
            ጀᅪ

        qઙฦഽ܈                                          iဢ৫
          ୳ႊ੣ဤևݴඇ๟຀຿֌ଙăᅺُLjᇑཚ׉ڦփႮߒߒ֌Ą൞                   ฏ঳ূຌ୳ႊLj؜׍മ৊ႜဢ৫ăڍுᆶሞܔᆌڦল৫๪ాဢ
          ཟዽॲ၎ԲLjઙฦഽ܈๟ຕݴኮᅃ዁ຕๆݴኮᅃăྺُLjӀ๑                   ৫ăဢ৫๪ా๑ᆩڦׇࢇLjਜ਼ࢽՂႷဢ৫ई؋ဢࢫ๑ᆩă
          ᆩཉॲLjᆶሺഽڦՂᄲăሺഽ֌ଙ੗ժᆩ؋უূຌڪă
                                                             ൞ཟ୳ႊ      ໗ဢ৫ŚݞႮव        ጀ)
        w๑ᆩ࿒܈                                                          ໗ဢ৫Śܛࣅت૙
                                                                                      භࡰ೗
          ࡀ߭ऻሜڦ๑ᆩ࿒܈ݔྷ(P.842)՗๖փׂิ࢔ٷڦഽ܈ইگڦ                   փႮߒ୳ႊ           (ၣ໗৐ጳ)
          ݔྷă                                                          ܛࣅت૙(ၣ໗৐ጳ)     ࿮භࡰڦे߾೗
                                                                       ޘ૛ӆגำհဢ৫       ࿮භࡰڦݥे߾೗
          ሞᄟࣅႠݳྷഘ(ٷഘ)ዐLj൞ཟ୳ႊٗ100ņĂփႮߒ୳ႊٗ
                                                         ጀ)ݞႮवت૙փ๟ྺକ๑ᆩዐڦఱ์Ⴀत׊೺ԍ٪ăྺݞኹՎ෥ፕڦ०ᅟݞ
          250ņਸ๔ᄟࣅĂՎ෥ă                                    Ⴎă
                                                          ࠅ׬ࡗ୳৛܈2~10μmڦ5tᅜฉڦׂ೗Ljᆯᇀ໗ဢ৫ᆶ੗ీׂิՎ෥ă
        eࠬӮ๮
                                                       oޫ์
          ټথཀྵڦ୳ႊڦׇࢇLjሞথཀྵևݴࠬฉӮ๮ă኱থᆩ߾ਏڪे
          ڟ୳ႊฉLjࣷׯྺ୳ႊ໦ฅĂ೦࣋ڦᇱᅺă                           Ӏ๑ᆩཉॲࢅ࣍ৣLjᆌጀᅪޫ์ڦׂิăዷᄲڦޫ์࿿ዊतޫ
                                                        ์ጒ઄සူ໯๖ăՂႷඓණࢫም๑ᆩă
        rೃહ೦࣋
          ူ௬໯๖ڦ๑ᆩཉॲူLjࣷᆅഐೃહ೦໦ă                           ൞ཟ୳ႊ
                                                           ൶ݴ              ޫ์࿿ዊतޫ์ጒ઄
          1) ୳ႊฉᆶናۯڦׇࢇ
                                                                ၣ໗Ă଼໗Ăჸ໗Ăᆯᇀޫ์փ੗๑ᆩ
          2) ୳ႊ๴ඤڦᆖၚLj಴ቯĂ๭໫ڪዘް৊ႜڦׇࢇă
                                                         ໗Ăॢ    ڼܾཎईڼܾཟ૗ጱĂࡤᆶҽڦ຤මᅂ
          ኄၵׇࢇLjྺݞኹናۯLjᆩ؋უূຌڪፕྺ୳ႊڦኧ׫Lj๑ᆩ                           !!ᆯᇀޫ์փ੗๑ᆩ
          ੗ဌ๭ᆯᇀඤׂิ಴ቯĄ๭໫ڦࠓሰă                              ٷഘዐ    ᆯᇀ଼ࣅൠ(H2S)Ăჱ଼໗ഘ༹(SO2)ޫ์
                                                         ࡛຤     ᆶၵఱႠLjڍ׊೺๑ᆩࣷޫ์
        t܋௬ႚጒ
                                                         ຤      ࡤᆶ༐໗ڦ຤ޫ์
          ᇶཤĂᇶཤټڹڪׂ೗ڦ܋௬ႚጒLjӀԨᄣԨփཞׂ೗ႚጒऻ
          ሜڦጀऻඓණăܔ܋௬ႚጒLj๑ᆩඓණփ٪ሞ௢ހႅ୑ڪࠤቱ                   փႮߒ୳ႊ
                                                           ൶ݴ              ޫ์࿿ዊतޫ์ጒ઄
          ڦएإฉ๑ᆩă
                                                                ଼໗Ăჸ໗ڪ
        y૭ጱྃ૗
                                                                 ᆯᇀ౪܈Ă࿒܈Ă୙૗ጱ(ዷᄲ๟୰૗ጱ)ڪࣷे໏ޫ์
          ৊ႜൎၥे߾ڦׇࢇLjሞՉᇹևڪࣷᆶ૭ጱڦྃ஌ă༬՚๟ࠅ                           ၣ໗
          ׬ࡗ୳৛܈(μm)ٷڦׂ೗ᆶُൡၠăन๑࿮ൎၥे߾ڦׂ೗Lj                  ໗Ă      ᇑ଼໗Ăჸ໗ڪ၎ԲLjఱ์ႠࡻၵLjڍሞగၵཉॲူ
                                                         ॢڪ
          ሞႚጒڦՉᇹᄺׂࣷิ૭ጱڦྃ஌ڪăܔ௢ހLjᆌ؊ݴඓණڦ                            ධࣷޫ์
          एإฉ๑ᆩă                                                ᆯᇀൠᄟࣅపĂൠᄟࣅौᆅഐޫ์                    FGD
                                                                 ᆯᇀම঴ሞ຤ዐڦᄟ঻෇ܸഽࣅޫ์
        uභࡰ೗(SUS୳ႊ)                                                                                FGE
                                                                ୰ࣅపĂ᠉ࣅపڪ
          SUS୳ႊභࡰ೗๟ᩨࢷࡰăᅺُLjࡰފևࣷᆶߛگֶLjᆯᇀභ                   ٷഘዐ    ᆯᇀٷഘዐڦCO2ĂSO2ĂNH3ڪࢅٷഘዐڦโ܈ڪᆅഐޫ์
          ࡰඤׂิՎႚĂൊ൸Ljභࡰև(ࡰڢև)୉ഐڪă                         ࡛຤     ᆯᇀ୰૗ጱĂම঴ሞ຤ዐڦᄟतᆶऐ࿿ڦጒ઄ᆅഐޫ์           FGG
          ࣏ᆶLjඤᆖၚևLjन๑৊ႜ໗ဢ৫LjᄺփీྜඇأඁՎ෥ă                            ୙ᇮ໎(ዷᄲ๟୰૗ጱ)तקओ࿿ڪڦ٪ሞܸޫ์
                                                         ຤
                                                                ࡤᆶ༐໗ڦ຤ዐޫ์                          FGA
                                                         ߛ࿒຤    ࿒܈ߛ้े੺ޫ์
                                                         ኖഘ     ࿒܈ߛ้े੺ޫ์                           FGB
                                                       !0Վ෥                                        FGC
                                                        ܔ୳ႊڦՎ෥Lj੗०ᅟڦ৊ႜݞႮت૙Ljڍ׊೺ԍ٪փႜăଷ                FGF
                                                        ྔLj๑ᆩࢫLjᆯᇀᅴ࿿ڦܑओࢅୁ༹ᄟࣅڪLjᆶՎ෥ڦׇࢇă
                                                        ༬՚๟൞ཟ୳ႊڦׇࢇLjᆯᇀٷഘዐڦ຤ݴڪLjׂิCuOڦӁ               FGH
                                                        ࢤ෥ڦೄఈLj๑ᆩࢫڦՎ෥๟փ੗Ն௨ڦă
                                                                                                   EJ
                                                                                                   ED
                                                                                                   FQ1
                                                                                                   FN

                                                                                                   EB□
                                                                                                   ES□
                                                                                              853
   13   14   15   16   17   18   19   20