Page 16 - 21-工艺气体元件（特气阀）

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ESKA-Z2711-ŕ 9.7 8 14 w
ESKA-Z2702-ŕ 17 8 ࿮ ř1 q
M5
ESKA-Z2712-ŕ 9.7 8 14 w
ESKA-Z2801-ŕ 38 13 ࿮ ř2 e
R1/8
ESKA-Z2811-ŕ 13.5 8 14 w
ESKA-Z2802-ŕ 52 17 17 e
R1/4
ESKA-Z2812-ŕ 19 19 21 w
ESKA-Z2803-ŕ 53 17 17 e
R3/8
ESKA-Z2813-ŕ 20 19 21 w
ESKA-Z2804-ŕ 58 17 22 e
R1/2
ESKA-Z2814-ŕ 19.3 19 21 w
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005 5μm
010 10μm B
020 20μm B
040 40μm
070 70μm
100 100μm
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