Page 14 - 21-工艺气体元件（特气阀）

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øD L t

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2 ࿮ऻࡽ ࿮ࡰފ೗(ׯ႙)
5 W ᆶࡰފ೗(භࡰ)
10
20
40
70 L
100
120
øD
Քጚ؅٫೗(࿮ࡰފ)
øD 4 5 6 8 10 12 15 20 30 t
L 16 20 20 30 40 40 40 50 60
t 1, 1.5 1.5, 2 2, 3 3

࿮ފ዆ፕݔྷ
øD L(∗:2߲ࡰފڦ؅٫)
4ļD= 5 5~16
5ļD= 8 5~20
8ļD=11 5~30
11ļD=15 5~40
15ļD=18 5~40
18ļD=21 5~50
21ļD=26 5~50(∗100)
26ļDļ30 10~60(∗120)
t 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5
ࠅֶ
Ġ0.3 4ļDļ20
øD Ġ0.5 20=Dļ30 FGD
Ġ1 ∗:2߲ࡰފ
Ġ0.3 5ļLļ30 ጀ1)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴׯ႙ႚ੗ฆ༌ă
ጀ2)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD, Lྺ0.5mmڇ࿋Ăܔt๟՗ऻሜ FGE
L Ġ0.5 30=Lļ60 ؅٫ă2߲ࡰފৈ՗ऻሜ؅٫ă
Ġ2 ∗:2߲ࡰފ ጀ3)2߲ࡰފࣷᆶၵྖ൸Ăߛگֶă භࡰ
t Ġ0.2 ጀ4)܋௬ႚጒ;࿮ൎၥे߾(2μmᅜူLjL?40ྺൎၥे߾) FGG
L 10ļøDļ73 FGA
Քጚ؅٫೗(ᆶࡰފ)
øD 30 40 50 65 FGB
L 250 500 250 500 250 500 250 500
t 2 2.3 øD භࡰ
FGC
ᆶࡰފ዆ፕݔྷ t FGF
øD 10~14 15~19 20~29 30~39 40~49 50~73 74~150 74ļøDļ150
L 50~500
10~500 10~500(∗1000) FGH
(∗:2߲ࡰފڦ؅٫) (∗1000)
t 1 1~1.5 1~2 1.5~2 1.5~2.5 1.5~3 2~3 භࡰ
EJ
ࠅֶ
Ġ1.5 10~ 73 ED
øD භࡰ භࡰ
Ġ2 74~150
Ġ0.3 10ļLļ 30 FQ1
Ġ0.5 30=Lļ 120 ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD, Lྺ1mmĂܔt๟0.5mmă2߲
L Ġ1 120=Lļ 315 ࡰފڦ( )ా؅٫๟ፌ׊؅٫ă FN
ጀ2)DĽ74׊܈ݛၠڦࡰފྺ2߲ă
Ġ1.5 315=Lļ 500
ጀ3)܋௬ႚጒ;ൎၥे߾
Ġ3 500=Lļ1000 řøD=65ĂL=100ڦඪᅃ߲ڦׇࢇLjࠔ෇ຕଉሞ10߲ භࡰ EB□
t Ġ0.2 ᅜฉă ES□
849