Page 12 - 21-工艺气体元件（特气阀）

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øD 4 5 6 8 10 12 15 20
t 2 2 2 2 3 3 3 3
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øD 2ļD=4 4ļDļ30 øD Ġ0.3
t 1~4 1~10 t Ġ0.2
ጀ1)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴׯႚ႙੗ฆ༌ă
ጀ2)ፌၭኸۨڇ࿋ܔøD๟0.1mmڇ࿋Ăܔt๟0.5mmڇ࿋ă
ൎၥे߾዆ፕݔྷ(࿮භࡰ) ࠅֶ
øD 20~220 220.5~350 Ġ0.3 20ļDļ120
t 1~3, 4, 5 (3), 4, 5 øD Ġ0.5 120=Dļ315
Ġ0.8 315=Dļ350
t Ġ0.2
ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD๟0.5mmڇ࿋Ăܔtሞ3mmᅜူ๟0.5mmڇ࿋ă
ጀ2)( )ా๟ࠅ׬ࡗ୳৛܈2μmڦ዆ፕݔྷă
ൎၥे߾዆ፕݔྷ(භࡰ೗) ࠅֶ FGD
භࡰ Ġ0.5 221ļDļ 315
øD t
ఇ๕ øD Ġ0.8 315=Dļ 800 FGE
221ļDļ 440 q 2~3 Ġ2 800=Dļ1000
440=Dļ 500 w 2~3 t Ġ0.2(භࡰևأྔ) FGG
500=Dļ 660 r 3
660=Dļ 880 t 3 FGA
880=Dļ1000 y 3
350=Dļ 700 e (3), 4, 5
ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD๟0.5mmڇ࿋Ăܔtሞ3mmᅜူ๟0.5mmڇ࿋ă FGB
ጀ2)t=2~3ĂDĽ221तt=(3), 4, 5ĂDĽ350ྺᆶފභࡰă
tĽ3ྺଇ௬භࡰă( )ా๟ࠅ׬ࡗ୳৛܈2μmڦ዆ፕݔྷă FGC
ጀ3)DĽ800ڦྔႚྺ๮ఉၥे߾ă
ଷྔLjභࡰևᆩߒີຘأඁᄟࣅೄă(փ৊ႜ໗ဢ৫)
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