Page 13 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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        پ՗ڦႚጒࢅ؅٫(ڇ࿋mm)

            փႮߒ(SUS)

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         ESS       20      50     3     5

                      W      L      t
                             ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm          ྔዜे߾൶ݴ
                                          2   ࿮ऻࡽ   २ൎൎ܏೗
                                          5    M    ऐႁे߾೗
                                        10                                       L           t
                                        20
                                        40
                                        70                                               W
                                      100
                                      120
        २ൎൎ܏዆ፕݔྷ
        ࿮භࡰ                            භࡰ೗                            ࠅֶ
          W(܌Չ)     10~220    10~220      W(܌Չ)    221~500    20~1000         Ġ1       20ļW, Lļ  120
                                                                        W, L
           L(׊Չ)    20~220    20~500      L(׊Չ)    221~500  501~1000          Ġ2     120=W, Lļ1000
             t       1, 1.5    2~3          t       2~3        3         t    Ġ0.2(භࡰևأྔ)
        ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋W, L๟1mmĂt๟0.5mmă
        ጀ2)२ൎൎ܏๟ൎ܏े߾ăᅺُLjൎ܏ևՎׯ೦܏௬ڦႚጒࣷᆶ໰Չतଛ࿖ăၙأඁڦׇࢇLjڇ֨े߾ሞ5mmᅜฉă
        ऐႁे߾዆ፕݔྷ(࿮භࡰ)                                               ࠅֶ
          W(܌Չ)    5ļW=221   5ļWļ  30  30ļW=221  5ļWļ  30  30ļWļ350        Ġ0.3         5ļW, Lļ  30
           L(׊Չ)    5ļL=221  5ļLļ200  30ļL=501  5ļLļ200  30ļLļ350    W, L  Ġ0.5       30=W, Lļ120
             t       1, 1.5         2~3               (3), 4, 5            Ġ1       120=W, Lļ315
                                                                           Ġ1.5     315=W, L=501
        ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋W, L๟0.5mmĂtሞ3mmᅜူ๟0.5mmڇ࿋ă                          t    Ġ0.2
        ጀ2)(   )ాྺࠅ׬ࡗ୳৛܈2μmڦ዆ፕݔྷă
        ऐႁे߾዆ፕݔྷ(භࡰ೗)                                ࠅֶ
          W(܌Չ)    221ļWļ450    40ļWļ  450    40ļWļ1000      Ġ0.5      40=W, Lļ  120
           L(׊Չ)    221ļL=501  501ļLļ1000  351ļLļ1000  W, L  Ġ1      120=W, Lļ  315
             t        2~3         3        (3), 4, 5         Ġ1.5    315=W, L=1000
                                                             Ġ5       tĽ4(W?450)
                                                        t         Ġ0.2(භࡰևأྔ)
        ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋W, L๟0.5mmĂtሞ3mmᅜူ๟0.5mmڇ࿋ă
        ጀ2)W?450๟ӝൎၥे߾ڦਈႚӱභࡰሞᅃഐLjࠤܠณᆶၵٱ࿋ࢅߛگֶă
        ጀ3)(   )ాྺࠅ׬ࡗ୳৛܈2μmڦ዆ፕݔྷă
        භࡰ೗ఇ๕(t=2~3)                                 භࡰ೗ఇ๕(t=(3), 4, 5)
                                             ԋӱຕ                                          ԋӱຕ
             W(܌Չ)          L(׊Չ)      ႚጒ                 W(܌Չ)          L(׊Չ)      ႚጒ
                                            W   L                                        W    L
             20ļW=  221   501ļLļ1000   q    1   2                      351ļL=  701  q     1   2
                                                          40ļW=  351
                          221ļL=  442       1   2                      701ļLļ1000   w     1   3
                                       q
           221ļW=  441    442ļL=  501       2   1       351ļW=  701    351ļL=  701  e     2   2
                          501ļLļ1000   e    2   2                                   r     2   3
                          442ļL=  501  q    2   1       701ļWļ1000     701ļLļ1000   t     3   3
           441ļW=  501    501ļL=  661  w    1   3
                          661ļLļ1000   e    2   2
           501ļW=  661    501ļLļ1000   r    2   3
           661ļW=  801    661ļLļ1000   y    4   2
           801ļWļ1000     801ļLļ1000   u    5   2
        ጀ1)t=2~3ĂWĽ221ĂLĽ501Ăt=(3), 4, 5ĂW, LĽ350ᅺභࡰᆶފătĽ3ྺଇ௬භࡰă
        ጀ2)W, LĽ800ڦභࡰևᆩߒີຘأඁᄟࣅೄă(փ৊ႜ໗ဢ৫)
        (භࡰఇ๕)



               q            w            e          r            t            y          u
           řW, L؅٫ڦඪᅃ߲փፁ150ڦׇࢇڦࠔ෇ຕଉሞ10߲ᅜฉă
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