Page 9 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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ฏ঳ূຌ୳ႊ



        پ՗ڦႚጒࢅ؅٫!(ڇ࿋mm)

              ൞ཟ(BC)

         qᇶӱ(ᇶಎ)
         ႙ࡽ՗๖ݛ݆                                        Քጚ؅٫೗(࿮ൎၥे߾)
                                                        øD   6   8   10  12  15  20
         EBD 6            2    5                         t   2   2     2    3    3    3
                                                        μm           2~120
                                                       ጀ)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴฏ঳႙੗ฆ༌ă
                     øD    t
                                                       ࿮ൎၥे߾዆ፕݔྷ                     ࠅֶ
                    ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm          ྔ০े߾൶ݴ
                                                        øD            2~30            øD    Ġ0.3
                                 2   ࿮ऻࡽ   ࿮ൎၥे߾
                                                         t     1      1.5    2~10      t    Ġ0.3
                                 5     M   ൎၥे߾೗
                               10                       μm    2~20    2~40   2~120
                                                       ጀ)ፌၭኸۨڇ࿋ܔøD๟0.1mmڇ࿋Ăܔt๟0.5mmڇ࿋ă
                               20
                               40
                               70                      ൎၥे߾዆ፕݔྷ
                             100                        øD    30~200  30~300  30~400
                             120                         t     1      1.5     2~  10
                                                        μm      2~  20    2~  40    2~120
                                                       ࠅֶ
                                               t
                                                              Ġ0.3       30ļDļ120
                                                        øD    Ġ0.5     120=Dļ315
                                                              Ġ0.8     315=Dļ400
                                            øD           t    Ġ0.3
                                                              Ġ0.5    t:5~10(גࡗø300)
                                                       ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋øD, t๟0.5mmڇ࿋ă
                                                       ጀ2)ࠅ׬ࡗ୳৛܈70μmᅜฉڦঙևᆯᇀे߾૭ጱྃ஌ڪ๟ᆶڦă
                                                       řøD<100ᅜူڦࠔ෇ຕଉ๟10߲ᅜฉă
         wਈႚӱ(ԋӱ)
         ႙ࡽ՗๖ݛ݆
         EBS 20            50     3     5
                                                       २ൎൎ܏዆ፕݔྷ
                      W      L      t
                                                       W(܌Չ)  10~200  10~300  10~300
                                                       L(׊Չ)  20~200  20~300  20~500
                             ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm
                                                         t     1      1.5       2~    3
                                          2              μm     2~20    2~  40    2~120
                                          5
                                        10             ࠅֶ
                                        20                    Ġ1        10ļW, Lļ120
                                                        W, L
                                        40                    Ġ2      120=W, Lļ500
                                        70               t    Ġ0.3
                                      100              ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋W, L๟1mmĂt๟0.5mmă
                                      120              ጀ2)२ൎൎ܏๟ൎ܏े߾ăᅺُLjൎ܏ևՎׯ೦܏௬ڦႚጒࣷᆶ໰Չतଛ࿖ăၙأඁڦ
                                                         ׇࢇLjڇ֨े߾ሞ5mmᅜฉă
                                                       ጀ3)ࠅ׬ࡗ୳৛܈70μmᅜฉڦঙևLjᆯᇀे߾Lj૭ጱࣷᆶྃ஌ڪă
                                    ྔዜे߾൶ݴ
                               ࿮ऻࡽ   २ൎൎ܏೗
                                M    ऐႁे߾೗             ऐႁे߾዆ፕݔྷ
                                                       W(܌Չ)  5~200  5~  30  30~300  5~  30  30~300
                                                       L(׊Չ)  5~200  5~200  30~300  5~200  30~500
                                   L            t        t     1          1.5           2~  10
                                                        μm    2~20       2~40           2~120
                                                       ࠅֶ
                                                              Ġ0.3        5ļW, Lļ30
                                            W
                                                              Ġ0.5      30=W, Lļ120
                                                        W, L
                                                              Ġ1      120=W, Lļ315
                                                              Ġ1.5    315=W, Lļ500
                                                              Ġ0.3
                                                         t
                                                              Ġ0.5    t:5~10(גࡗL300)
                                                       ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋ܔW, L, t๟0.5mmă
                                                       ጀ2)ࠅ׬ࡗ୳৛܈70μmᅜฉڦঙևLjᆯᇀे߾Lj૭ጱࣷᆶྃ஌ڪă
                                                       řW, L؅٫నᅃ߲փፁ150ڦׇࢇڦࠔ෇ຕଉᆌሞ10߲ᅜฉă
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