Page 10 - 21-工艺气体元件（特气阀）

ฏ঳ূຌ୳ႊ

پ՗ڦႚጒࢅ؅٫(ڇ࿋mm)

൞ཟ(BC)
eᇶཤ

႙ࡽ՗๖ݛ݆ Քጚ؅٫೗
øD 10 20 30 40 45 50 65
EBP 10 200 3 5 L 200 200 200 200 200 250 250 500
t 2 2 2 2 2.5 3 3
μm 2~120
øD L t
዆ፕݔྷ
ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm
øD L
2
10ļDļ 20 10~50 10~200
5 20=Dļ 35 20~80 20~200 20~300
10
35=Dļ 45 35~200 35~400
20
45=Dļ 65 45~500
40
65=Dļ130 65~500
70
130=Dļ200 130~500 130~300
100 200=Dļ250 200~300
120
t 1.5 2 2.5 3 4 5 6
μm 2~40 2~120
ࠅֶ(Քጚ؅٫Ăኸۨ؅٫၎ཞ)
Ġ0.3 10ļDļ 30
L
øD Ġ0.5 30=Dļ120
Ġ1 120=Dļ250
Ġ0.3 10ļLļ 30
Ġ0.5 30=Lļ120
L
Ġ1 120=Lļ315
Ġ1.5 315=Lļ500
t Ġ0.3
øD ጀ2)܋௬ᆶൎၥे߾ăࠅ׬ࡗ୳৛܈70μmᅜฉڦঙևLjᆯᇀे߾Lj૭ጱᆶവ஌ڪă
t ጀ1)׊܈200mmฉLj኱০ᆶ1mmڦጔ܈ăࠤøDڦࠅֶ๟ᅜLڦዐ႐ྺएጚ࿋ዃă
ጀ3)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD, L๟0.5mmĂt๟՗ऻሜڦ؅٫ă
ጀ4)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴฏ঳႙੗ฆ༌ă
řøD=65ĂL=100ڦనᅃ߲ڦׇࢇLjࠔ෇ຕଉᆌሞ10߲ᅜฉă
rᇶཤټڹ
႙ࡽ՗๖ݛ݆ Քጚ؅٫೗(࿮ൎၥे߾)
øD 8 10 20 30 FGD
EBW 8 20 2 5 L 20 40 80
t 2 FGE
μm 2~120
øD L t
FGG
࿮ൎၥे߾዆ፕݔྷ
ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm
øD 7ļDļ10 10=Dļ20 FGA
2
L 7~10 10~50
5 t 1.5 2 1.5 2 2.5 3
10 FGB
μm 2~40 2~120 2~40 2~120
20
40 FGC
70 ൎၥे߾዆ፕݔྷ
100 øD 20=Dļ30 30=Dļ40 FGF
120 L 20~80 30~80
t 1.5 2 2.5 3 2 2.5 3
ਸ੨֨ڦे߾൶ݴ μm 2~40 2~120 2~120 FGH
࿮ऻࡽ ࿮ൎၥे߾ ࠅֶ(Քጚ؅٫Ăኸۨ؅٫၎ཞ)
M ൎၥे߾೗ Ġ0.3 7ļDļ 30 EJ
øD
L Ġ0.5 30=Dļ 40 ED
Ġ0.3 10ļLļ 30
t L
Ġ0.5 30=Lļ120
t Ġ0.3 FQ1
øD ጀ1)኱০ᆶ1mmڦጔ܈ă FN
ጀ2)ਸ੨֨ڦ܋௬ྺൎၥे߾ăࠅ׬ࡗ୳৛܈70μmᅜฉڦঙևᆯᇀे߾Ljᆶ૭ጱڦവ
஌ڪă
ጀ3)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD, L๟0.5mmĂܔt๟՗ऻሜ؅٫ă
ጀ4)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴฏ঳႙੗ฆ༌ă EB□
řࠔ෇ຕଉሞ10߲ᅜฉă ES□
845