Page 15 - 21-工艺气体元件(特气阀)
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        پ՗ڦႚጒࢅ؅٫(ڇ࿋mm)

            փႮߒ(SUS)
         rᇶཤټڹ

         ႙ࡽ՗๖ݛ݆
         ESW 8           10      2     5                                                  L

                     øD     L     t                                                 øD
                            ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm         ᇶཤྔ০ڦׯ႙൶ݴ                                   t
                                         2   ࿮ऻࡽ  ࿮ࡰފ೗(ׯ႙)
                                         5    M   ᆶࡰފ೗(භࡰ)
                                       10
                                       20
                                       40
                                       70
                                     100
                                     120

        Քጚ؅٫೗(࿮ࡰފ)
          øD   8    10  12   15   20  30
          L    10   20  20   20   40  50
          t              2              3
        ࿮ࡰފ዆ፕݔྷ
            øD                          L
            5ļD=  8   5~20
            8ļD=11       5~30
          11ļD=15             5~40
          15ļD=18               5~40
          18ļD=21               5~50
          21ļD=26                  5~50
          26ļDļ30                           10~60
             t       1   1.5   2   2.5   3   3.5  4    4.5  5

        ࠅֶ
                Ġ0.3       4ļDļ20   ጀ1)Քጚ؅٫೗ᅜྔႴׯႚ႙੗ฆ༌ă
          øD
                Ġ0.5     20=Dļ30    ጀ2)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD,  Lྺ0.5mmڇ࿋Ăܔt๟՗ऻሜ
                Ġ0.3       5ļLļ30     ؅٫ă
          L                         ጀ3)܋௬ႚጒ;࿮ൎၥे߾ྺ(2μmᅜူLjL?40ྺਸ੨
                Ġ0.5     30=Lļ60
                                      ֨ൎၥे߾)
          t     Ġ0.2                                                                  භࡰ
                                                                        L                10ļøDļ73
        Քጚ؅٫೗(ᆶࡰފ)
          øD     30        40       50       65
          L    250  500  250  500  250  500  250  500
          t                2                 2.3                  øD                  භࡰ
        ࿮ࡰފ዆ፕݔྷ                                                        t      t
              øD       10~14  15~19  20~29  30~39  40~49  50~73  74~150                  74ļøDļ150
              L                                           50~500
                          10~500         10~500(∗1000)
          (∗:2߲ࡰފڦ؅٫)                                     (∗1000)
               t        1    1~1.5  1~2  1.5~2  1.5~2.5  1.5~3  2~3                    භࡰ
        ࠅֶ
                Ġ1.5      10~73
          øD                                                                භࡰ        භࡰ
                Ġ2        74~150
                Ġ0.3      10ļLļ    30
                Ġ0.5      30=Lļ  120  ጀ1)ኸۨፌၭڇ࿋ܔøD,  Lྺ1mmĂܔt๟0.5mmă2߲ࡰ
          L     Ġ1      120=Lļ  315   ފڦ(   )ా؅٫๟ፌ׊؅٫ă
                Ġ1.5    315=Lļ  500  ጀ2)DĽ74׊܈ݛၠڦࡰފྺ2߲ă
                                    ጀ3)܋௬ႚጒ;ൎၥे߾
                Ġ3      500=Lļ1000
                                    řøD=65ĂL=100ڦඪᅃ߲ڦׇࢇLjࠔ෇ຕଉሞ10߲     භࡰ              භࡰ
          t     Ġ0.2                 ᅜฉă
        850
   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19   20