Page 11 - 21-工艺气体元件（特气阀）

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øD1(Ġ0.5) 9 10 12 15 20
EBF 9 10 1 5 øD2(Ġ0.5) 7 8 9 11 15
L(Ġ0.5) 10 11 13 14
t1(Ġ0.3) 1 1.5 2 3
øD1 L t1 ࠅ׬ࡗ୳৛܈μm t2(Ġ0.3) 2 2 2 2 3
2 μm 2~20 2~40 2~120
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20
40
70
100 L
120 t1
øD1 øD2

t2

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EBKX೗ዖ႙ࡽ
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A B C
M3 EBKX-X9007-ŕ 9.7 8 12 q
M5 EBKX-X9008-ŕ 9.7 8 12 q
R1/8 EBKX-L7004-ŕ 13.5 8 11 q
EBKX-J2001-ŕ 47.3 17 21 w
R1/4
EBKX-L7005-ŕ 19 19 21 q
EBKX-J2002-ŕ 48.3 17 21 w
R3/8
EBKX-L7006-ŕ 20 19 21 q
EBKX-J2003-ŕ 51.3 17 21 w
R1/2
EBKX-L7007-ŕ 23 19 21 q
A A
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ऻࡽ ࠅ׬ࡗ୳৛܈ ૩)ࠅ׬ࡗ୳৛܈2μm
002 2μm EBKX-J2001-002 B
005 5μm B
010 10μm
020 20μm
040 40μm
070 70μm
100 100μm ୃঙܾ௬੻C ୃঙܾ௬੻C
120 120μm
řࠔ෇ຕଉሞ10߲ᅜฉă
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