Page 41 - 21-工艺气体元件（特气阀）
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IW 系列
外形尺寸图
ø15
板安装孔
MAX.4
M14×P1.5
板
BLEED 3.2
68
28 208 60
SUP OUT A向视图
ø54 46
140 10
压力计连接口
76
2×Rc1/4 7
46
连接口
2×Rc1/4
(20) 4×M6×1深10
40
排水 向左旋转打开，向右旋转关闭 A向视图
74
41
